基于随机方法的AFM探针位置最优估算研究.pdfVIP

第３８卷　第９期 仪 器 仪 表 学 报 Ｖｏｌ３８Ｎｏ９ ２０１７年９月 ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔ Ｓｅｐ．２０１７ 基于随机方法的ＡＦＭ探针位置最优估算研究 １，２ １ １ １ １ 袁　帅 ，尧　晓 ，栾方军 ，郭　耸 ，冯吉远 （１．沈阳建筑大学信息与控制工程学院　沈阳　１１０１６８；２．中国科学院沈阳自动化研究所　沈阳　１１００１６） 摘　要：由于受到驱动器ＰＺＴ（ＰｂＺｒＴｉＯ３）非线性、系统温漂与其他不确定因素的影响，原子力显微镜（ＡＦＭ）探针在任务空间 的位置存在不确定性。这严重影响了ＡＦＭ探针观测与操作的效率，如何减小探针位置的不确定性，实现ＡＦＭ探针的精确定 位成为亟待解决的问题。针对此问题，提出用概率分布的方式描述探针位置的不确定性，通过建立探针运动模型，结合基于 局部扫描的观测模型，采用Ｋａｌｍａｎ滤波对探针位置进行最优估算。针对算法的实现，设计了模型参数标定方案。通过仿真和 实验的结果验证了算法的有效性与可行性，实现了探针在任务空间中的精确定位，提高了纳米操作效率。 关键词：探针精确定位；运动模型；局部扫描；Ｋａｌｍａｎ滤波；参数标定 中图分类号：ＴＰ２４　ＴＨ８９　　　文献标识码：Ａ　　国家标准学科分类代码：５１０．８０ ＯｐｔｉｍａｌｐｏｓｉｔｉｏｎｅｓｔｉｍａｔｉｏｎｏｆＡＦＭｔｉｐｂａｓｅｄｏｎｓｔｏｃｈａｓｔｉｃａｐｐｒｏａｃｈ １，２ １ １ １ １ ＹｕａｎＳｈｕａｉ ，ＹａｏＸｉａｏ，ＬｕａｎＦａｎｇｊｕｎ，ＧｕｏＳｏｎｇ，ＦｅｎｇＪｉｙｕａｎ （１．Ｓｃｈｏｏｌｏｆｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎａｎｄｃｏｎｔｒｏｌｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｈｅｎｙａｎｇＪｉａｎｚｈｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｓｈｅｎｙａｎｇ１１０１６８，Ｃｈｉｎａ； ２．ＳｈｅｎｙａｎｇＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＡｕｔｏｍａｔｉｏｎ，ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｓｈｅｎｙａｎｇ１１００１６，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｄｕｅｔｏｎｏｎｌｉｎｅａｒｉｔｙ，ｓｙｓｔｅｍｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｄｒｉｆｔａｎｄｏｔｈｅｒｕｎｃｅｒｔａｉｎｔｉｅｓｏｆＰＺＴ（ＰｂＺｒＴｉＯ３），ｔｈｅｒｅｅｘｉｓｔｓｕｎｃｅｒｔａｉｎｔｙｆｏｒｔｈｅ ｐｏｓｉｔｉｏｎｏｆＡＦＭ（ＡｔｏｍｉｃＦｏｒｃｅＭｉｃｒｏｓｃｏｐｙ）ｔｉｐｉｎｔｈｅｔａｓｋｓｐａｃｅ．ＩｔｓｅｒｉｏｕｓｌｙａｆｆｅｃｔｓｔｈｅｏｂｓｅｒｖａｔｉｏｎａｎｄｏｐｅｒａｔｉｏｎｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙｏｆＡＦＭ ｔｉｐ．Ｔｈｕｓ，ｔｏｒｅｄｕｃｅｔｈｅｕｎｃｅｒｔａｉｎｔｙｏｆｔｉｐｐｏｓｉｔｉｏｎ，ａｎｄａｃｈｉｅｖｅｐｒｅｃｉｓｅｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇｂｅｃｏｍｅｓａｎｕｒｇｅｎｔｉｓｓｕｅｔｏｂｅｓｏｌｖｅｄ．Ｆｉｒｓｔｌｙ，ｔｈｉｓ ｗｏｒｋｒｅｐｒｅｓｅｎｔｓｔｈｅｕｎｃｅｒｔａｉｎｔｉｅｓｏｆｔｉｐｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｔｈｅｔａｓｋｓｐａｃｅｂｙｕｓｉｎｇｔｈｅｐｒｏｂａｂｉｌｉｔｙｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ．Ｔｈｅｎ，ｔｉｐｍｏｔｉｏｎｍｏｄｅｌｉｓ ｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄ，ａｎｄｌｏｃａｌｓｃａｎｂａｓｅｄｏｂｓｅｒｖａｔｉｏｎｍｏｄｅｌｉｓｃｏｍｂｉｎｅｄｔｏｅｓｔｉｍａｔｅｏｐｔｉｍａｌｔｉｐｐｏｓｉｔｉｏｎｂｙｕｓｉｎｇｔｈｅＫａｌｍａｎｆｉｌｔｅｒ．Ｉｎａｄｄｉｔｉｏｎ， ａｍｏｄｅｌｐａｒａｍｅｔｅｒｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｓｃｈｅｍｅｉｓｄｅｓｉｇｎｅｄｔｏｉｍｐｌｅｍｅｎｔｔｈｅｐｒｏｐｏｓｅｄｍｅｔｈｏｄ．Ｔｈｅｖａｌｉｄｉｔｙａｎｄｆｅａｓｉｂｉｌｉｔｙｏｆｔｈｅａｌｇｏｒｉｔｈｍａｒｅ ｖｅｒｉｆｉｅｄｂｙｔｈｅｓｉｍｕｌａｔｉｏｎａｎｄｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔｓ．ＡＦＭｔｉｐｐｒｅｃｉｓｅｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇｃａｎｂｅｒｅａｌｉｚｅｄｉｎｔｈｅｔａｓｋｓｐａｃｅ，ａｎｄｔｈｅｅ