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第6章 压电式传感器 在多应力下的压电效应 石英晶体压电模型 如果沿z轴方向施加作用力，因为晶体在x方向和y方向所产生的形变完全相同，所以正负电荷重心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这表明沿z轴方向施加作用力，晶体不会产生压电效应。 压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多（约为石英的50倍）, 所以采用压电陶瓷制作的压电式传感器的灵敏度较高。 极化处理后的压电陶瓷材料的剩余极化强度和特性与温度有关, 它的参数也随时间变化, 从而使其压电特性减弱。温度稳定性和机械强度都不如石英。  目前使用较多的压电陶瓷材料是锆钛酸铅, 它是钛酸钡（BaTiO3)和锆酸铅（PbZrO3）组成，有较高的压电系数和较高的工作温度。 ＋＋＋＋ －－－－ ＋＋＋＋ －－－－ ＋＋＋＋ －－－－ 1）串联 串联使压电传感器时间常数减小，电压灵敏度增大，适合于电压输出、高频信号测量场合。 2）并联 并联使压电传感器时间常数增大，电荷灵敏度增大，适合于电荷输出、低频信号测量场合。 ＋＋＋＋ －－－－ －－－－ ＋＋＋＋ ＋＋＋＋ －－－－ 四、测量电路 1、压电传感的等效电路 测量电路需接一个高输入阻抗的前置放大电路。该放大器有电压放大器和电荷放大器。 实际等效电路 压电元件的Ca,Ra, 电缆的Cc 前置放大器的Ri,Ci 可简化为 定义电流 2、电压放大器 * * ★ 利用电介质受力变形，内部产生的极化现象 ★ 去掉外力后，电荷消失后状态复原 ★ 作用力相反，电荷极性也发生变化 逆压电效应： 当在电介质的极化方向上施加电场时，这些电介质发生形变。（电致伸缩效应） 正压电效应： 2、压电效应方程 应力 T1、T2、T3 轴向正应力 （拉应力为正，压应力为负） T4、T5、T6 绕轴切应力 (逆时针方向为正) σ1、 σ2、 σ3 在垂直于x y z轴表面上的电荷密度 单一应力作用下的压电效应 dij为j方向应力引起i面产生的电荷时的压电常数 单位：库仑/牛顿 Tj －单位为帕 σi －库仑/米2　 单一作用力下的压电效应有以下四种类型 Ti为切向应力（T4~T6） Ti为轴向应力（T1~T3） 应力面 ⊥电荷面 应力面 ∥电荷面 应力∥电荷面 应力⊥电荷面 j － i≠ 3 j －i＝3 i≠j i=j 剪切压电效应 面切压电效应 横向压电效应 纵向压电效应 + - - + + - + - 电荷产生面i上的总电荷密度 dij的可能值 3、力——电荷转换公式 电荷产生面积Si 电荷量Qi 在j方向受力面积Sj 在j方向受外力Fj 对于纵向压电效应 对于横向压电效应 i≠j 二、压电材料 类型：压电晶体(单晶体)如石英晶体 　　　压电陶瓷(多晶陶瓷) 　　　新型压电材料（压电半导体和有机高分子） 1、石英晶体材料 特点：1）晶体各个方向的特性不相同 　　　2）Z轴方向没有压电效应 　　　3）X轴面压电效应最强 　　　4）Y轴方向机械变形最大 石英晶体 石英晶体化学式为SiO2, 是单晶体结构。图表示了天然结构的石英晶体外形。它是一个正六面体。 Z轴为中轴（光轴）：光线沿该轴通过石英晶体无折射。 x轴为电轴：压电效应最强。 y轴为机械轴：在电场的作用下沿该轴产生机械变形最明显。 O y z x m m m 压电常数矩阵 d11=2.31×10-12 (C/N) d14=0.74×10-12 (C/N) 石英晶体不是在任何方向都存在压电效应 正常情况下石英体中正负电荷处于平衡，外部呈中性。 不受力 y x y x 晶体在x方向受力 晶体在y方向受力 正负电荷产生移动，出现带电现象。 Fy Fy Fx Fx P1 P2 P3  当石英晶体未受外力作用时, 正、负离子正好分布在正六边形的顶角上, 形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。 如图 所示。 x y 石英晶体压电模型 P1 P2 P3 当石英晶体受到沿x轴方向的压力作用时, 晶体沿x方向将产生压缩变形, 正负离子的相对位置也随之变动。 x y 石英晶体压电模型 P1 P2 P3 此时正负电荷重心不再重合, 电偶极矩在x方向上的分量由于P1的减小和P2、P3的增加而不等于零 x y 石英晶体压电模型 P1 P2 P3 + + + + + + + + + + + + - - - - - - - - - - - - x y 石英晶体压电模型 P1 P2 P3 + + + + + + + + + + + + - - - - - - - - -