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微机械发展史 摘要：微机械最早可追溯到19世纪。19世纪，作为照相制版技术诞生了光制造技术。20世纪60年代，美国相继开发出了结晶异方向腐蚀、杂质浓度依存性腐蚀、阳极键合等基本微加工技术。进入70年代，美国学者提出了基于硅半导体材料的微机械的设想。70年代到80年代硅传感器随着半导体加工技术进步也有很大发展，利用微加工技术（micromachining）制造出多种微小尺寸的机械零部件。1988年，美国加州大学Berkeley分校Muller研究小组发表了转子直径为60～100?的硅静电马达，它的报道在当时引起了很大的轰动。自此，MEMS一词渐渐成为一个世界性的学术用语，MEMS技术的研究开发也日益成为国际上的一个热点。 关键词：微机械 MEMS技术 发展历程 发展趋势 商业浪潮 0 前言 微电子机械系统 ( Micro Electro - Mecba6ical System, MEMS ) ，简称微机械，是以微电子技术和微加工技术为基础的一项新技术。早在六十年代，随着微电子技术的产生和发展，一些富有创见的科学家便开始探索用硅微加工的方法制作传感器、执行器和控制器，并设想将它们集成在一个微小的几何空间内，从而形成高度自动化、智能化，可以大批生产，价格低廉的微电子机械系统。但在这个阶段，尚不具备成熟的用于制作微机械结构和器件的加工技术。微机械仅仅是一种概念或设计思想。八十年代，大规模集成电路技术己经成熟， 人们用I C工艺成功地制作出了微机械压力传感器以及微铰链、微连杆、微齿轮等等一系列微机械零部件。微机械是在八十年代后期崛起的一门新兴的前沿学科。 1 国际上微机械的发展情况 早在1941年就出现了半导体传感器—光敏电阻，但直到70年代集成电路出现以后它才得到发展。晶体管和集成电路的发明一方面促进了电子电路和结构型传感器的结合，另一方面使人们能够利用固态物性来制作传感器，从而导致了物性型传感器的出现，其中半导体传感器是最重要的一种。因为半导体材料(特别是硅)对力，热,磁等多种信号有敏感特性，而且可以利用开发集成电路的先进工艺技术，目前半导体传感器有立敏，光敏，磁敏，气敏，离子敏，生物敏等多种类型的产品。由于可以采用平面工艺，半导体传感器还具有微型化的潜力。经过不断地努力，人们研制出了多种微型传感器，部分还集成了简单的信号处理电路，同时也为微机械加工(Micro Machining)技术的出现奠定了基础。随着微机械加工技术的内容不断扩充，水平不断提高，微机械加工技术成为力敏传感器的关键技术，并扩展了应用范围。 微机械加工技术的迅速发展导致了微执行器的诞生。人们在实践中认识到，硅材料不仅有优异的电学和光学性质。微机械加工技术的出现，使得制作硅微机械部件成为可能。在80年代初，一些有远见的科学家提出了微机械执行器的概念。1987年，加州大学伯克利分校的范龙生等人用表面微机械加工的方法制成了多晶硅齿轮，引起了国际学术界的震动。随后，汽车用微机械多路绝压传感器投入批量生产，从而表明MEMS技术作为一个重要的交叉学科出现了。 1 9 8 8 年，美国加洲大学伯克利分校又首先用 I C工艺研制成功了06 0 u m的静电微电机。这一成果使世界为之轰动，它标志着微机械技术己经发展成了一门独立的新兴学科。人类在认识与改造微观世界方面的能力也进入了一个新的阶段目前， 作为二十一世纪的高新技术和潜在的庞大高新技术产业，微机械己引起世界各国的普遍关注，国内外众多的大学、科研和产业部门都正在进行广泛深入的研究。微型机械不是传统机械单纯地在尺度上微小型化，当特征尺寸达到微米级后，微型机械的力学系统特征、材料的物理性质及其对环境变化的响应与传统机械都有很大不同，它通常是指可以成批制作的集合微机构、微驱动器、微能源以及微传感器和控制电路、信号处理装置等于一体的微型机电系统，因而它远远超出了传统机械的概念和范畴。微机械学就是在研究微尺度力学特性和微构件机械特性的基础上进行微型机械的分析与设计，开发出与传统机械的结构、材料、功能和原理不同的机械装置。 微型机械具有广阔的应用前景，它的出现无疑将深刻影响国民经济和国防工业各个部门的未来发展。微机械是一种独立的微小型化的机电系统，主要由微驱动器，微传感器，微执行器、微控制器以及能源等几种要素组成。以微电机为代表的微驱动器一直是微机械系统的关键技术和研究热点之一， 微电机的技术水平在一定程度上反应了一个国家微机械发展的侧面。电磁微电机具有一些其他类电机无法比拟的优点，是目前最有前途的微驱动器之一。十几年来，人们己经设计制作出了多种形式和结构的电磁微电机，但是有关电磁微电机的设计理论和实验研究仍然处于探索完善阶段目前，微机械的结构尺寸尚无统一的标准。按照一种习惯划分，结构尺寸在 1 毫米～1 0 毫米