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扫描电子显微镜和能谱分析技术
(Scanning Electron Microscopy
/Energy Dispersive Spectrometer)
（SEM/EDS）
安泰科技研发中心
郭金花
;主 要 内 容;1 扫描电镜的作用：;2 扫描电镜的工作原理; 样品表面激发的电子信号;二次电子、背散射电子和特征X射线;背反射电子：产生范围在100nm-1μm深度
能量较高，小于和等于入射电子能量E0;3扫描电镜的主要构造;收集二次电子时，为了提高收集有效立体角，常在收集器前端栅网上加上+250V偏压，使离开样品的二次电子走弯曲轨道，到达收集器。这样就提高了收集效率。
收集背散射电子时，背散射电子仍沿出射直线方向运动，收集器只能收集直接沿直线到达栅网上的那些电子。;4 扫描电镜对样品的作用－－
加速电压、电子束与样品之间的关系; 4 扫描电镜对样品的作用－－ 二次电子与背散射电子之间的区别; 二次电子图像 VS.;4 扫描电镜对样品的作用－－ 物镜光栏、工作距离与样品之间的关系 ;工作距离的影响;5 能谱仪（EDS）的工作原理;6 能谱仪（EDS）的结构;优点 1）快速并且可以同时探测不同能量的X-光能谱 2）接受信号的角度大。 3）仪器设计较为简单 4）操作简单 ;8 仪器功能介绍及应用 ;SEM/EDS的主要性能指标 ;JEOL-6380/SEM的工作界面;颗粒;薄膜及涂层材料;昆 虫;; Element;EDAX-EDS的工作界面---区域分析;Element;EDAX-EDS的工作界面---面扫描;面扫描实例-Cu网;线扫描实例-Cu网;9 电镜样品的制备
;(3)粉末样品的制备：
导电胶－－粘牢粉末－－吸耳球－－观察
悬浮液－－滴在样品座上－－溶液挥发－－观察
(4)不导电样品：
通常对不导电样品进行喷金、喷碳处理或使用导电胶
形貌观察：喷金处理
成分分析：喷碳处理
;a 显露出所欲分析的位置 b 不得有松懈的粉末或碎屑 c 需耐热，不得有熔融蒸发的现象 d不能含有液状或胶状物质，以免挥发 e非导体表面需镀金或镀碳 f 磁性材料会影响聚焦，成像效果不好;
谢 谢 !
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