4H-SiCβ射线核电池和探测器的分析.pdfVIP

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2019-04-29 发布于安徽
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4H-SiCβ射线核电池和探测器的分析.pdf

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Abstract Abstract ag Silicon has suchwide Carbide(SIC)whichoutstandingproperties and anti- thermal thermal carrierssaturationrate stability,highconductivity,high strong of betterthansemiconductor radiation anti-radiationSiCis materials ability．The ability suchas andCraAs atomicnumberandbackscatter Si，Ge GaN，lower etc．Compared谢t11 silicon smaller process，andleakagecurrent，whichkeeps·silicon rate，compatible晰th the tomake and detector． material radioisotopebatteryray carbide(SiC)aspreferred Thestructural of4H-SiCPiN are parameters junctionradioisotopebaRery deteminedinthis 5differentelectrodeare toreduce paperfirmly．And patternsproposed theblockof witllmetal．Thenthe thefabricationof 13-ray processduring is decidetoformthePiN structureviaChemical studied，we epitaxiallayers battery ICPetchmesa toisolatedifferent structure VaporDeposition(CVD)，use metalasohmiccontactmetals． multi-layer the of4H—SiCPiN istested,the Secondlysample junctionradioisotopebattery resultshowsthatthe contactresistanceof ohmiccontactreceives