传感技术概论（深）.ppt

传感器讲义（中国地质大学） “十一五”以来，传感器技术得到了国家更大的重视，特别在国家“863”计划的十大领域中（如资源环境技术领域、海洋技术领域）安排了许多传感器技术方面的项目。在光纤、CMOS图像、纳米磁、压力、声表面波、电容型微加工超声、耐高温等传感器及传感器网络研究等方面取得较大的进展。目前国内从事敏感元件和传感器生产的厂家大约为455家，整个产业链上涉及的企业多达1400余家，传感器年产量突破24亿只。目前，国内能批量生产的敏感元件和传感器有力敏、热敏、气敏、湿敏、电压敏、磁敏、光敏7大类，约4000多个品种，而全球传感器品种约有20000余种，其余依靠进口来满足国内需求。 在《国家中长期科学技术发展规划纲要2006-2020年》明确了“传感器”在我国中长期发展中的重要作用和关键地位，温家宝总理在无锡考察时提出要尽快建设中国的“传感信息中心”和“感知中国中心” 。 传感器产业发展现状及动向 当前，传感器技术的主要发展动向，一是开展基础研究，发现新现象，开发传感器的新材料和新工艺；二是实现传感器的集成化与智能化。 1．发现新现象: 利用物理现象、化学反应和生物效应是各种传感器工作的基本原理，所以发现新现象与新效应是发展传感技术的重要的工作，是研制新型传感器的重要基础，其意义极为深远。 1.4.1 传感器的发展趋势 2．开发新材料 传感器材料是传感器技术的重要基础，由于材料科学的进步，人们在制造时．可任意控制它们的成分，从而可以设计制造出用于各种传感器的功能材料， 例如半导体氧化物可以制造各种气体传感器，而陶瓷传感器工作温度远高于半导体，光导纤维的应用是传感器材科的重大突破，用它研制的传感器与传统的相比有突出的特点。有机材料做为传感器材料的研究，也引起国内外学者极大兴趣。 3．采用微细加工技术 半导体技术中的加工方法如氧化、光刻、扩散、沉积、平面电子工艺、各向异性腐蚀以及蒸镀、溅射薄膜工艺都可引进用于传感器制造，因而制造出各式各样新型传感器。例如，利用半导体技术制造出压阻式传感器，利用薄膜工艺制造出快速响应的气敏、湿敏传感器，日本横河公司利用各向异性腐蚀技术进行高精三维加工，在硅片上构成孔、沟、棱、锥、半球等各种形状，制作出全硅谐振式压力传感器。 4 研究多功能集成传感器 日本丰田研究所开发出同时检测Na+、K+和H+等多离子传感器。这种传感器的芯片尺寸为2．5mm×o．5mm，仅用一滴液体，如一淌血液即可同时快速检测出其中Na+、K+和H+的浓度，对医院监床非常适用与方便。 我国某传感器研究所研制的硅压阻式复合传感器可以同时测量压力与温度。 智能传感器是一种带微处理器的传感器，它兼有检测、判断和信息处理功能。其典型产品如美国图尼尔公司的ST一3000型智能传感器，其芯片尺寸为3×4×2mm3，采用半导体工艺，在同一芯片上制作CPU、EPROM和静压、压差、温度等三种敏感元件。 5 智能化传感器 6．新一代航天传感器研究 　 众所周知，在航天器的各大系统中，传感器对各种信息参数的检测，保证了航天器按预定程序正常工作，起着极为重要的作用。随着航天技术的发展，航天器上需要的传感器越来越多，例如，航天飞机上安装3500支左右传感器，对其指标性能都有严格要求，如小型化、低功耗、高精度、高可靠性等都有具体指标。为了满足这些要求，必须采用新原理、新技术研制出新型的航天传感器。 7．仿生传感器研究 值得注意的一个发展动向是仿生传感器的研究，应该给予高度重视，特别是在机器人技术向智能化高级机器人发展的今天。仿生传感器就是模仿人的感觉器官的传感器，即视觉传感器、听觉传感器、嗅觉传感器、味觉传感器、触觉传感器等。目前只有视觉与触觉传感器解决的比较好，其它几种远不能满足机器人发展的需要。也可以说，至今真正能代替人的感觉器官功能的传感器极少，需要加速研究，否则将会影响机器人技术的发展。  1.5 传感器的数学模型及一般特性 从系统角度来看．一种传感器就是一种系统。根据系统工程学理论，一个系统总可以用一个数学方程式或函数来描述。即用某种方程式或函数表征传感器的输出和输入间的关系和特性，从而、用这种关系指导对传感器的设计、制造、校正和使用。通常从传感器的静态输入--输出关系和动态输入—输出关系两方面建立数学模型，但是准确地建立一个系统的数学模型是困难的。在工程上，总是采用一些近似方法建立起系统的初步模型，然后．经过反复模拟试验确立系统的最终数学模型，这种方法同样适用传感器数学模型的建立。