GB/T 16595-2019晶片通用网格规范.pdf

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2019-04-30 发布于四川
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| 2019-03-25 颁布
| 2020-02-01 实施

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ICS29.045 H 80 中华人民共和国国家标准 / — GBT16595 2019 代替 / — GBT16595 1996 晶片通用网格规范 Secificationforauniversalwaferrid p g 2019-03-25发布 2020-02-01实施国家市场监督管理总局发布中国国家标准化管理委员会 / — GBT16595 2019 前言本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 / — 《》。 / — , 本标准代替GBT16595 1996晶片通用网格规范与GBT16595 1996相比除编辑性修改外主要技术变化如下: ——— “ , 增加了适用范围本标准适用于标称直径 100mm~200mm的硅片也适用于其他半导体材 ”( ); 料晶片见第章 1 ——— “ ”( , ); 将第章范围中的部分内容列入网格的应用见第章年版的第章 1 5 5 1996 1 ——— / 、 / 、、、 , 删除了规范性引用文件中的GBT1554YST209SEMIM1SEMIM2SEMIM11增加了 / ( , ); 见第章年版的第章 GBT30453 2 1996 2 ——— “ 、将 4.1网格单元平面图的4.1.2内容修改为网格外径的选择应考虑到晶片的边缘去除直径。 , 允许偏差和倒角通常选择网格外径为合格质量区的直径其中合格质量区的半径比晶片的 ,

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