GB/T 16596-2019确定晶片坐标系规范.pdf

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2019-04-30 发布于四川
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| 2019-03-25 颁布
| 2020-02-01 实施

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ICS29.045 H 80 中华人民共和国国家标准 / — GBT16596 2019 代替 / — GBT16596 1996 确定晶片坐标系规范 Secificationforestablishin awafercoordinatesstem p g y 2019-03-25发布 2020-02-01实施国家市场监督管理总局发布中国国家标准化管理委员会 / — GBT16596 2019 前言本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 / — 《》。 / — , 本标准代替GBT16596 1996确定晶片坐标系规范与GBT16596 1996相比除编辑性修改外主要技术变化如下: ——— / 、 , / 规范性引用文件中删除了和增加了和 GBT12964SEMIM12 SEMIM13 GBT34479 / ( , ); 见第章年版的第章 YST986 2 1996 2 ——— “ ”( ); 增加了晶片坐标系的建立原则见第章 3 ——— “ ” “ ”( 、 ); 增加了晶片背面坐标系和三维坐标系见 4.24.3 ——— “ ” ( 、 ); 删除了晶片坐标系的应用及有关内容中的和见年版的 4.1.1 4.1.2 1996 .2 ——— “ , , 增加了在 SEMIM1中用边缘轮廓模板建立的边缘参考坐标系用于边缘的参照其与本晶

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