电子元器件失效分析技术-new.ppt

August, 2003 IR CONFIDENTIAL 提纲： 可靠性的基本概念和新的观念； 失效分析的8个步骤； 3. 失效分析的概念，目的，作用，对象和分类； 4. 与我们生产有关的例子； 5. 失效分析的新技术。 一. 关于可靠性？ 电子产品可靠性定义： 是指产品在规定的条件下及规定的时间内完成规定功能的能力，它是电子产品质量的一个重要组成部分。 可靠性的表征： 寿命；失效率；故障；MTBF；返修；赔偿…… 注：电子产品的寿命：包括硬件寿命到期；技术寿命到期（过了换代期的电子产品） 可靠性工程新旧观念对比 传统可靠性观念： 是以失效数据的统计和分析为手段，表征产品的可靠性，比如MTBF。 可靠性的新观念： 是以失效分析为手段，寻找失效的根本原因，并加以解决以达到从根本上提高可靠性的目的。 几个概念： 可靠性强化试验(RET, Reliability Enhancement Testing）,或称为步进应力试验；高加速寿命试验HALT，高加速应力筛选HASS等面向失效分析的可靠性新技术 失效物理学（Pof，Physics of Failure），把失效作为主体研究，通过激发，研究和根治失效达到提高可靠性的目的 可靠性观念变化比较 失效物理方法的8个步骤： 确定真正的系统要求； 确定使用环境；（包括生产环境，但这点经常被忽略） 验明潜在的失效部位和失效机理； 采用可靠的原材料的元器件； 设计可靠的产品； 鉴定加工和装配过程； 控制加工和装配过程；（从设计和制造过程加强可靠性） 对产品的寿命期成本和可靠性进行管理（采购后到达到使用寿命结束这中间的所有管理，培训，控制等等成本之和） 另一领域的失效分析 医药学的历史与人类的病痛一样长，大量医药科学的进步都是建立在外科医生的尸体解剖上。（仁慈的东方人除外）； 在这个专业领域，这一做法通常称为“失效分析”； 每个失效部件都应被视为进行可靠性改进的机会，从这个角度讲，失效部件有时甚至是“珍贵的” 这个例子可以帮助我们理解失效分析的作用和失效部件的重要性。 二. 失效分析基本概念 失效：功能退化或着功能丧失； 失效模式：失效现象的表现形式，如开路，短路，参数漂移，不稳定等； 失效机理：导致失效的物理化学变化过程，和对这一过程的解释，如电迁移开路，银电化学迁移短路。工程上，也会把失效原因说成失效机理。 应力：驱动产品完成功能所需的动力和产品经历的环境条件。是产品退化的诱因； 缺陷： 失效分析的目的和作用 失效分析:是对已失效的器件进行的一种事后检查，使用电测试和先进的物理，进行和化学分析技术，验证所报告的失效，确定其失效模式，找出失效机理。 失效分析程序应得出相应结论，确定失效原因或相应关系，或着在生产工艺，器件设计，试验或应用方面采取措施，以消除失效模式或机理产生的原因，或防止其重新出现。 失效分析的对象 实物对象：包括已发生失效或发生重要变化的测试结构，半成品，试制品，试验品，整机应用以及外场应用失效品。 过程对象：包括元器件的研发过程和应用过程。 研发过程:可细分为设计优化，制造工艺优化，测试筛选与评价试验优化等过程（比如Hexfred Ir漂移事件的解决，我们设计新的筛选程序）； 应用过程：元器件选型，二次筛选条件优化，设备研制生产中的故障控制对策，可靠性增长，全寿命维护等（更偏向用户） 失效模式的概念和种类 失效模式：就是失效的外在表现形式，不需要深入说明其物理原因 按持续性分类：致命性失效，间歇失效，缓慢退化； 按失效时间分类：早期失效，随即失效，磨损失效； 按电测试结果分类：开路，短路或漏电，参数漂移，功能失效 按失效原因分类：EOS（Electrical over Stress/ESD (Electrostatic Discharge);制作工艺不良。 三. 一些例子 Eg1. ESD失效机理－解释 定义：处于不同静电电位的两个物体间发生的静电电荷转移就形成了ESD，这种静电放电将给电子元件带来损伤，引起产品失效。 电子元器件由静电放电引发的失效可分为：突发性失效和潜在性失效两种模式。 突发性失效： 是指元器件受到ESD损伤后，突然完全丧失其规定的功能，主要表现为开路，短路或参数严重漂移。 潜在性失效： 是指静电放电能量较低，仅在元器件内部造成轻微损伤，放电后器件电参数仍能合格或略有变化，但器件的抗过电的能力已经明显削弱，再受到工作应力后将进一步退化，使用寿命将明显缩短。 ESD失效的不同机理 过电压场致失效： 发生于MOS器件，包括含有