第1章MEMS设绪论第1部分.pptVIP

第1章 绪论(第1部分);What ？;各个国家不同的定义;;尺度;典型尺寸;1 cm beetle 甲虫 1 mm head louse 跳蚤 100 μm hair 头发 10 μm blood cells 血球 1 μm bacteria 细菌 100 nm virus 病毒 10 nm IC features 线宽 1 nm DNA双螺旋结构 0.1-0.3nm atom 原子;微型车床 Micro Lathe-Japan;定义;微加工和小型化技术与科技生活;集成电路技术是MEMS发展历史的起点 电子器件小型化和多功能集成是微加工技术的推动力;MEMS研究发展史;1967年：发明硅各向异性腐蚀工艺 1968年: 阳极键合 1969年: 基于掺杂浓度的腐蚀 1970年：硅微电极（斯坦福大学） 1973年：内窥镜用硅压力传感器（斯坦福大学） 1974年：集成气相质谱仪（斯坦福大学） 1976年：KOH 腐蚀，MEMS加工手段 1979年：集成压力传感器（密西根大学） 1979年：第一个压阻式微加速度计 1982年： LIGA工艺（德国原子力研究所） 1982年：第一