铁镍合金磁屏蔽薄膜的制备及性能-安全与电磁兼容.PDF

MATERIAL APPLICATION IN EMC 铁镍合金磁屏蔽薄膜的制备及性能 Preparation and Properties of Iron-nickel Alloy Film for Magnetic Shielding 1 北京工业大学材料科学与工程学院 2 总后勤部军需装备研究所 孟超 1 王群 1 施楣梧 2 摘要 利用电化学沉积法制备了铁镍合金薄膜，研究了离子浓度比、pH、温度、电流密度等工艺条件对镀 层成分含量的影响，并对镀层的表面形貌、内应力、物相组成、磁性能及屏蔽效能等进行了表征，优化 出了最优工艺参数，得到了性能优异、可剥离的铁镍合金薄膜。 关键词 电化学沉积；软磁薄膜；铁镍合金 Abstract Iron-nickel alloy film is prepared by electrochemical deposition. The effects of Fe2+ and Ni2+concentration ratio, pH, temperature, current density on the component content of the coatings were studied. The phaseconstitution, morphology, internal stress, magnetic and shielding properities of the coatings were characterized. Through the optimal process parameters, stripping iron-nickel alloy thin films with promising properties were obtained. Keywords electrodeposition; soft magnetic film; iron-nikel alloy 引言 性能随着合金镀层成分含量的变化而变化。本文通过改 低频磁场干扰在电磁防护领域是一种比较难解决 变工艺条件，在钛箔上电沉积制备成分不同的铁镍合金 的干扰 [1] 。由于低频磁场趋肤效应弱、波阻抗小，相应 镀层，并研究合金镀层成分变化对其性能的影响。 的吸收损耗和反射损耗也小，因此，对高频电磁场有很 好屏蔽效果的优良导体材料对低频磁场却几乎没有屏蔽 1 铁镍合金薄膜的制备 作用 [2-3] 。低频磁场的屏蔽是利用高磁导率的材料对磁 电沉积铁镍合金薄膜的制备过程受许多工艺参数 2+ 3+ 场进行分路，将磁力线集中在屏蔽材料内部，进而降低 的影响，其中包括：Fe /Fe 浓度、镀液 pH 值、镀液 屏蔽区域内磁场的强度 [4] ，如图 1 所示。 温度、电流密度等。以往的研究成果表明：Fe2+ 太高 会造成 Fe3+ 浓度升高，影响镀液的分散能力和整平能 力，使镀层性能降低；pH 太高会导致 Fe3+ 容易形成 Fe（OH） ，沉淀夹杂到镀层中，导致合金镀层脆性大、 3 延展性差等缺陷；温度太低