椭偏光法薄膜的折射率和厚度.docVIP

实验五 椭偏光法测薄膜的折射率和厚度 一、引言 椭圆偏振测量术简称椭偏术。它是利用光的偏振性质，将一椭圆偏振光射到被测样品表面，观测反射光偏振状态的变化来推知样品的光学常数。就其理论范畴来讲，它与十涉法一样，都是利用光的波动性，以经典物理学为基础。这种测量方法的原理早在上个世纪就提出来了，距今已有近百年的历史。由于光波通过偏振器件及样品反射时，光波偏振状态变化得异常灵敏，使得椭偏术的理论精度之高是干涉法不能比拟的，又由于这种测理是非破坏性的，因此它的优越性是显而易见的。长期以来，人们一直力图将这种测量方法付诸应用。早在40年代就有人提出实验装置，但由于计算上的困难一直得不到发展。 电子计算机及激光技术的广泛应用，为椭偏术的实际应用及迅猛发展创造了条件。今天椭偏术已成为测量技术的一个重要的分支。 椭偏术有很多优点，主要是测量灵敏、精度高，测量范围从1 SKIPIF 1 0 到几个微米而且是非接触测量。国外生产的高精度自动椭偏仪能测量正在生长的薄膜小于l SKIPIF 1 0 的厚度变化，可检测百分之儿的单分子层厚度，深入到原子数量级。因此既可将其应用于精密分析测量，也可以用于表面研究，用于自动监控及分析液、固分界面的变化。目前椭偏术已应用到电子工业，光学工业，金属材料工业，化学工业，表面科学和生物医学等领域。 在我们的实验中，使用消光椭偏仪测量薄膜的折射率和厚度。除了能学习到其测量方法外，其巧妙的设计思想也将给我们极人的启发和收益。 二、椭偏术原理 1．椭偏术基本方程 SKIPIF 1 0 SKIPIF 1 0 椭圆偏振光入射到透明介质薄膜时，光在两个分界面(空气与薄膜，薄膜与衬底)来同反射和折射，如图5．1所示。总反射光由多光束干涉而成，光在两个分界面的P波和S波的反射系数分别为 SKIPIF 1 0 SKIPIF 1 0 SKIPIF 1 0 SKIPIF 1 0 SKIPIF 1 0 SKIPIF 1 0 SKIPIF 1 0 SKIPIF 1 0 P SKIPIF 1 0 P 界面I 界面I SKIPIF 1 0 SKIPIF 1 0 P SKIPIF 1 0 SKIPIF 1 0 P SKIPIF 1 0 界面II SKIPIF 1 0 P SKIPIF 1 0 界面II SKIPIF 1 0 P 图 5—1 由菲涅尔公式有： 　　　　　　　　　　 SKIPIF 1 0 以上各式中 SKIPIF 1 0 为空气折射率， SKIPIF 1 0 为膜层的折射率， SKIPIF 1 0 为衬底折射率。 SKIPIF 1 0 为入射角， SKIPIF 1 0 ， SKIPIF 1 0 分别为光波在薄膜和衬底的折射角。它们满足折射定律： 　　　　　　　　　　　 SKIPIF 1 0 总反射系数 SKIPIF 1 0 、 SKIPIF 1 0 分别为： 　　　　　　　　　　　 SKIPIF 1 0 （5-1） 其中 SKIPIF 1 0 引入反射系数比，定义： 　　　　　　　　　　　　　　 SKIPIF 1 0 （5-2） 这就是椭偏术基本方程。其物理意义为样品对Ｐ波的总反射系数与对Ｓ波的总反射系数之比。 　　设Ｐ波入射的电矢量为 SKIPIF 1 0 ，反射的电矢量为 SKIPIF 1 0 ；Ｓ波入射的电矢量为 SKIPIF 1 0 ，反射的电矢量为 SKIPIF 1 0 。 因为　　　　　 SKIPIF 1 0 　　　　　　　 SKIPIF 1 0