国立中兴大学电机工程学系元件设计制作及材料分析实验室课件.pptVIP

國立中興大學電機工程學系元件設計製作及材料分析實驗室 (Devices and materials Analysis Lab.)  指導教授：貢中元 博士 地 點：電機大樓 906 室 聯絡電話：(03)2285-0359  電子郵件：cykung@dragon.nchu.edu.tw2002/06/07 設置目的： 1.培養光電元件設計及製作人才。 2.開發半導體尖端技術。 3.促進與產業界建教互動，使學 生早日接觸產業界之工作環境。 4.提供技術服務，協助地區性光 電產業發展 研究重點： 1.半導體基材技術研究-包括矽單晶成長，低溫複晶膜及磊晶沈積技術及藍寶石晶片薄化及蝕刻技術。 2.分離式元件設計及製造技術包括，功率元件(power MOS及IGBT)的設計與製作。 3.有機發光二極體(OLED) ，發光材料及元件特性研究 及微致動器微機電系統製作。 4.VLSI製程技術開發、 CMP拋光技術處理、去疵技術、蝕刻技術以及產品良率分析。 研究成果：