GB/T 1558-1997硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法.pdf

GB/T1558-1997 ，当 前 「1 本标准等效采用ASTMF123-91《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》对我国标准 GB1558-83(测定硅晶体中代位碳含量的红外吸收方法》进行修订而成的。 本标准对GB1558-83中半值宽度的定义和试样厚度的要求按ASTMF123-91作了修订。 本标准在编写时略去了ASTMF123-91的第5章 “意义和用途”，将ASTMF123的第8章 “取 样”和第9章“测试样品和参比样品”合并为本标准的第7章试“样制备”以使标准简单、明了。 本标准从 1998年8月1日起实施。本标准生效之 日起，同时代替国家标准GB1558-83, 本标准的附录A是提示的附录。 本标准由中国有色金属工业总公司提出。 本标准由中国有色金属工业总公司标准计最研究所归口。 本标准由峨眉半导体材料厂负责起草。 本标准主要起草人：梁洪、刘文魁、吴福立。 本标准 1979年6月首次发布，1997年第二次修订。 中华人民共和 国国家标准 硅中代位碳原子含A GB/T 1558一 1997 红外吸收测t方法 代替GB1558-83 Testmethodforsubstitutionalatomiccarbon contentofsiliconbyinfraredabsorption 范围 本标准规定了硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法。 本标准适用于载流子浓度小于5X1016cm-3、室温电阻率大于。.1Ocm的硅单晶中代位碳原子 浓度的测定。由于碳也可能存在于间隙位置，因而本方法不能测定总碳浓度。 本标准也适用于硅多晶中代位碳原子浓度的测定。其晶粒界间区的碳同样不能测定。 本标准测量碳原子浓度的有效范围为：室温下从硅中代位碳原子浓度1X10at·cm-3(200PPba) 到碳原子的最大溶解度，77K时下限降到5X105at·cm-3(100PPba)a 2 引用标准 下列标准包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。在标准出版时所示版本均为有 效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。 GB/T6618-1995 硅片厚度和总厚度变化的测试方法 3 定义 本标准采用以下定义。 3.1基线 basiclinc 从参比图谱吸收峰两侧最大透过率处作出的一条切线，用来计算吸收系数a。见图la 3.2碳浓度 carbondensity 在本方法中，是指占据晶格替代位置的碳原子的体密度。根据比耳定律，它与吸收系数成正比，单位 是at·cm-3 3.3半值宽度 fullwidthathalfmaximum 半峰高处的吸收带宽度。见图1, 3.4参比样品 referencespecimen 在本方法中，是指与被测试样的厚度及表面制备相同，载流子浓度不大于被测试样的载流子浓度， 碳浓度小于1X105atcm-3(20PPba）的硅片，用于与被测试样进行参照和对比。 国家技术监仔局 1997一12一22批准 1998一08一01实施 GB/T1558-1997 次 卜 卜 哥 划 级 波数，,cm- 图1典型基线示意图 4 方法提要 本方法利用硅中代位碳原子在波数为607.2cm-(16-47jm）处的红外吸收峰的吸收系数来确定