一种压电式精密输液微泵的试验研究-光学精密工程.PDFVIP

一种压电式精密输液微泵的试验研究-光学精密工程.PDF

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第 卷 第 期 光学 精密工程 ! ! 6378! 938 ! ! !!!!!!!! ’ )*+,-./012+*,*3.4. *.221*. !!!!!!!! 年 月 ! ( 5 5 #$$% :;.8#$$% ! ! ! ! 文章编号 # $ !$$=#N #$$%$=$$$!=$ ! 一种压电式精密输液微泵的试验研究 刘国君!程光明!杨志刚 吉林大学 机械科学与工程学院!吉林 长春 # !$$#? 摘要!提出了一种用于精密输液的压电驱动式微型泵该泵在结构’原理上均有别于传统泵%在实验室中设计’制作了实 验样机同时为取得控制流体精密输送的方法与规律自行设计’制作了专用电源%通过系统的实验测试和研究进一步 验证(压电驱动式微泵性能稳定’能够实现流体的精密输送’且适于微小型化可为研发具有实用意义的精密输液微泵提 供有益借鉴% 关 键 词!压电!微泵!精密输液 ! ! 中图分类号! 文献标识码! Q9 F!Pr S ! ! W@ %0’%,#)0%-%0($*, ’%U*%)%(#0’( 2 2 ’(0*?. /*0 0%(’-’*, . ’, 2 2 2 2 2 1 BD] H;3=;. @I49H H;-. =M*. \S9H KC*=-. U 5 5 5 5 # $ 3-’#$%,’$9’,-%’-$%4L% ,%--;,% )%*+,+(+-T,,%Y%,X-;*,+ #$% ’#(%!$$#?#,%$ 6 ( 53-#0(# S *2‘3272+)1*+M*+13=;M *.Y31O*. 1*.+*72-./+3.W*;1-)*3./*WW212.)W13M )C2+3.X2.= ( ( ( 5( ( 5 )*3.-7 ;M Y-, 12,2.)2/W31 ;M *. M*.;)27 *.M2/*+*.28QC2 ;M 13)3) 2Y-,/2,*.2/-./ ( ( ( ( ( 5 L ( (( L( 5 M-.;W-+);

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