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國 立交通 大學
應用化學系博士班
博 士論 文
奈米結構之製程與特性以及其於太陽能電池之應用
Fabrication and Characteristics of Nanostructures and Their
Applications on Solar Cells
研 究 生：陳政元
指導教授：孫建文 博士
中 華民 國 一百零二 年九 月
奈米結構之製程與特性以及其於太陽能電池之應用
Fabrication and Characteristics of Nanostructures and Their
Applications on Solar Cells
研 究 生：陳政元 Student ：Jheng-Yuan Chen
指導教授：孫建文 博士 Advisor ：Dr. Kien Wen Sun
國 立 交通 大 學
應用化學系博士班
博 士論 文
A Thesis
Submitted to Ph.D. Program, Department of Applied Chemistry
College of Science
National Chiao Tung University
In Partial Fulfillment of the Requirements
for the Degree of Doctor of Philosophy
In
Applied Chemistry
August 2013
Hsinchu, Taiwan, Republic of China
中華民國 一百零二 年九 月
奈米結構之製程與特性以及其於太陽能電池之應用
學生：陳政元 指導教授：孫建文教授
國立交通大學 應用化學系博士班
摘要
本論文為進行對奈米結構製程與應用的研究，著重於低 成本，簡易、大面積化的奈
米結構製程技術，包括自組裝奈米結構 、奈米球微影以及奈米壓印微影技術。一方面也
投入研究自行架設奈米壓印機台，希望能夠建立一個實驗平台，用於做為研究奈米結構
應用的實驗技術。藉由結合大面積表面奈米結構與不同類型太陽能電池 ，探討其結構特
性對於元件表現之影響與貢獻。分為以下幾部分：
(1) 仿生抗反射奈米結構應用於單晶矽太陽能電池 ：以次波長蛾眼奈米結構於高分子薄
膜 表面，並直接壓印於單晶矽太陽能電池試片做為抗反射層。製程上利用奈米球微影技
術、軟性材料翻模、反式壓印的方法，證實了利用這樣低成本、快速的製程方式，可直
接將奈米結構壓印至表面具有微米結構粗糙化的太陽能電池薄片，且製程過程中不會對
試片造成損害，實驗結果有效降低反射率而提升太陽能轉換效率從 12.85%至14.2% 。
(2) 以奈米壓印形成週期性結構並應用於高分子太陽能電池：為了達到奈米壓印結構之
高完整與均勻性，我們架設一個簡易的氣壓式奈米壓印機，並且以紫外光固化的方式進
行結構定型，搭配軟模具的使用，可完成壓印大面積的均勻結構，且壓印結構深寬比可
達到 3:1 。接著將
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