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UVE-A280 自動曝光機使用說明書
（AUTOMATIC EXPOSURE USER MANUAL ）
目 錄
1. 操作安全資訊3
1.1 警告3
1.2 注意3
1.3 一般安全預防措施3
1.4 操作前注意事項4
2. 系統規格5
2.1 機台尺寸：5
2.2 曝光作業系統：5
2.3 底片規格：5
2.4 PCB 基板規格： 5
2.5 散亂光系統：5
2.6 UV 光源監控： 5
2.7 視覺對位系統：6
2.8 移載系統：6
2.9 冷卻系統：6
2.10 公用規格：7
3. 安裝要求8
3.1 搬運要求8
3.2 場地空間8
3.3 能源需求8
3.4 安裝組立8
3.5 連線需求8
4. 機台模組結構10
4.1 動作流程 10
4.2 進料段 11
4.3 曝光室 12
4.4 靶標對位系統 13
4.5 燈源及冷卻系統 14
1
4.6 出料段 14
5. 系統操作15
5.1 系統啟動、停止 15
5.2 操作流程 16
5.3 操作參數設定 18
5.4 操作系統說明 18
6.保護及服務14
6.1 保養22
6.2 一般性預防保養及潤滑23
6.3 燈管更換步驟25
6.4 裝箱注意事項27
7. 故障排除27
7.1 異常訊息27
7.2 異常可能原因27
7.3 燈源電路異常及排除35
8. 真空氣壓簡圖36
8.1 真空室氣壓簡圖：36
8.2 底片真空吸附氣壓簡圖：37
2
1. 操作安全資訊
1.1 警告
在使用手冊中若出現【警告】文字時，代表在機台安裝、操作、保養作業程序中
必須特別注意事項，否則可能導致工業傷害和機台損壞。
1.2 注意
在使用手冊中若出現【注意】字眼時，代表在機台安裝、操作、保養作業程序中
必須謹慎小心事項，否則可能導致機台損壞及工業傷害。
1.3 一般安全預防措施 (請先詳讀)
為了確保作業人員及保養人員之安全及防止機台因意外受損，本機有許多安全
防護裝置設計，使用中請務必遵守下述安全預防措施:
(1) 在漏電斷路器一次側或二次側接線，更換燈管、電器元件及做任何修理工作之
前，請先確定漏電斷路器在OFF的位置，並且設立〝故障維修〞標誌和警示裝
置，以確保維修人員的安全。
(2) 請勿用手觸摸燈管石英的部份，因燈管石英玻璃部份若有指紋或污垢等髒污現
象會產生熱點HOT SPOTS引起石英玻璃老化，嚴重時會導致燈管爆裂。
(3) 在更換或觸摸任何燈源系統之元件，請先洗淨雙手，戴上乾淨的棉手套、PE
手套或橡皮手套，若不慎觸摸到上述光學元件表面時，請用無塵布/細無塵沾
上清潔液(20%乙醇+80%純蒸餾水)清洗其污表面。
(4) 在曝光室內曝光狀態下工作時，請戴上耐UV 防護面罩和棉手套並穿長袖上
衣。請勿用肉眼直視明亮高強度UV光，否則會引起眼睛傷害，即使戴上防護
面罩，亦請勿直視UV積光器中的強光，因其可見光仍可引起眼睛不適，請勿
使皮膚直接在
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