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数字式球径仪设计报告
摘要
本文简要介绍了各种测量球面曲率半径的原理，对其优缺点做了对比；重点介绍了用菲索平面干涉仪测量大曲率半径的方法，并通过CCD摄像机和图像采集卡实现图像采集和信号的模数转换，获得的图像信息经由计算机处理后直接得出球面的曲率半径，实现了干涉法测曲率半径的数字化，避免了人为读数的误差以及计算的繁琐。最后进行了误差来源分析，提出来减小误差的方法。
关键词：大曲率半径测量、菲索平面干涉仪、CCD摄像机、干涉图样数字化处理
TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc280916644 一、设计目的及内容 PAGEREF _Toc280916644 \h 4
HYPERLINK \l _Toc280916645 1、目的要求 PAGEREF _Toc280916645 \h 4
HYPERLINK \l _Toc280916646 2、主要内容 PAGEREF _Toc280916646 \h 4
HYPERLINK \l _Toc280916647 二、球面曲率半径测量方法 PAGEREF _Toc280916647 \h 4
HYPERLINK \l _Toc280916648 1.环形（接触式）球径仪测球面曲率半径 PAGEREF _Toc280916648 \h 4
HYPERLINK \l _Toc280916649 2．自准直法测球面曲率半径 PAGEREF _Toc280916649 \h 5
HYPERLINK \l _Toc280916650 3、刀口阴影法测量球面曲率半径 PAGEREF _Toc280916650 \h 7
HYPERLINK \l _Toc280916651 4．干涉法测量球面曲率半径 PAGEREF _Toc280916651 \h 8
HYPERLINK \l _Toc280916652 三、总体设计 PAGEREF _Toc280916652 \h 9
HYPERLINK \l _Toc280916653 1、菲索平面干涉仪光路和原理 PAGEREF _Toc280916653 \h 9
HYPERLINK \l _Toc280916654 2. CCD摄像机和图像采集卡 PAGEREF _Toc280916654 \h 11
HYPERLINK \l _Toc280916655 2.1．CCD摄像机 PAGEREF _Toc280916655 \h 11
HYPERLINK \l _Toc280916656 2.2. 图像采集卡 PAGEREF _Toc280916656 \h 11
HYPERLINK \l _Toc280916657 3．干涉图样的数字化 PAGEREF _Toc280916657 \h 11
HYPERLINK \l _Toc280916658 4. 数字图像的计算机处理 PAGEREF _Toc280916658 \h 12
HYPERLINK \l _Toc280916659 4.1 图像的平滑化 PAGEREF _Toc280916659 \h 12
HYPERLINK \l _Toc280916660 4.2 增强对比度 PAGEREF _Toc280916660 \h 13
HYPERLINK \l _Toc280916661 4.3轮廓追踪 PAGEREF _Toc280916661 \h 13
HYPERLINK \l _Toc280916662 4.4数据处理 PAGEREF _Toc280916662 \h 14
HYPERLINK \l _Toc280916663 四、仪器精度分析 PAGEREF _Toc280916663 \h 14
HYPERLINK \l _Toc280916664 1.仪器测量范围 PAGEREF _Toc280916664 \h 14
HYPERLINK \l _Toc280916665 2.误差来源及减小误差的方法 PAGEREF _Toc280916665 \h 14
HYPERLINK \l _Toc280916666 2.1干涉仪本身的误差 PAGEREF _Toc280916666 \h 14
HYPERLINK \l _Toc280916667 2.2光源引起的误差 PAGEREF _Toc280916667 \h 14
HYPERLINK \l _Toc280916668 2.3CCD探测器引起的误差 PAGEREF _Toc280916668 \h 15
HYPERLINK \l _Toc280916669 2.4环境误
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