高反射光学薄膜激光损伤研究进展-中国光学.PDFVIP

第１１卷　第６期 　　　　 　　中国光学　　　　　　　 Ｖｏｌ．１１　Ｎｏ．６ 　 　　 　　　　　　　 ２０１８年１２月　 　 　 Ｄｅｃ．２０１８ ＣｈｉｎｅｓｅＯｐｔｉｃｓ 文章编号　２０９５１５３１（２０１８）０６０９３１１８ 高反射光学薄膜激光损伤研究进展  董家宁，范　杰 ，王海珠，邹永刚，张家斌，侯春鸽 （长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室，吉林 长春 １３００２２） 摘要：激光诱导损伤阈值是大功率光学系统中重要参数，其数值大小对激光系统的输出功率与稳定性具有重要影响。为 了突破损伤阈值对激光光学系统输出功率的限制，科研人员主要从制备薄膜工艺、激光特性、薄膜特性以及薄膜后工艺 等方面开展研究。本文介绍了高反膜理论、制备工艺；综述了近十年来国内外对高反膜损伤研究的成果；阐述了激光特 性、薄膜特性以及薄膜后工艺对薄膜损伤阈值的影响。在此基础上，对提高高反膜损伤阈值的研究和发展趋势进行了分 析与展望。 关　键　词：激光损伤；光学薄膜；高反膜；损伤阈值 中图分类号：ＴＢ４３　　文献标识码：Ａ　　ｄｏｉ：１０．３７８８／ＣＯ０９３１ Ｒｅｓｅａｒｃｈｐｒｏｇｒｅｓｓｉｎｌａｓｅｒｄａｍａｇｅｏｆｈｉｇｈ ｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅｏｐｔｉｃａｌｔｈｉｎｆｉｌｍｓ  ＤＯＮＧＪｉａｎｉｎｇ，ＦＡＮＪｉｅ，ＷＡＮＧＨａｉｚｈｕ，ＺＯＵＹｏｎｇｇａｎｇ，ＺＨＡＮＧＪｉａｂｉｎ，ＨＯＵＣｈｕｎｇｅ （ＳｔａｔｅＫｅｙｌａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＨｉｇｈｐｏｗｅｒＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＬａｓｅｒ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ１３００２２，Ｃｈｉｎａ） Ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇａｕｔｈｏｒ，Ｅｍａｉｌ：ｆａｎｊｉｅ＠ｃｕｓｔ．ｅｄｕ．ｃｎ Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｌａｓｅｒｉｎｄｕｃｅｄｄａｍａｇｅｔｈｒｅｓｈｏｌｄｉｓａｎｉｍｐｏｒｔａｎｔｐａｒａｍｅｔｅｒｉｎｈｉｇｈｐｏｗｅｒｏｐｔｉｃａｌｓｙｓｔｅｍｓ，ａｎｄｉｔ ｈａｓａｎｉｍｐｏｒｔａｎｔｉｎｆｌｕｅｎｃｅｏｎｔｈｅｏｕｔｐｕｔｐｏｗｅｒａｎｄｓｔａｂｉｌｉｔｙｏｆｌａｓｅｒｓｙｓｔｅｍ．Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｂｒｅａｋｔｈｒｏｕｇｈｔｈｅｌｉｍｉ ｔａｔｉｏｎｏｆｔｈｅｄａｍａｇｅｔｈｒｅｓｈｏｌｄｏｎｔｈｅｏｕｔｐｕｔｐｏｗｅｒｏｆｔｈｅｌａｓｅｒｏｐｔｉｃａｌｓｙｓｔｅｍ，ｒｅｓｅａｒｃｈｅｒｓｈａｖｅｃａｒｒｉｅｄｏｕｔｒｅ ｓｅａｒｃｈｍａｉｎｌｙｏｎｆｉｌｍｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ，ｌａｓｅｒｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ，ｆｉｌｍｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓａｎｄｔｈｉｎｆｉｌｍｐｏｓｔｔｒｅａｔｍｅｎｔ．Ｉｎｔｈｉｓ ｐａｐｅｒ，ｔｈｅｔｈｅｏｒｙａｎｄｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｏｆｈｉｇｈｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅｆｉｌｍａｒｅｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ；ｔｈｅｒｅｓｅａｒｃｈｒｅｓｕｌｔｓｏｆｈｉｇｈａｎｔｉｍｅｍ ｂｒａｎｅｄａｍａｇｅａｔｈｏｍｅａｎｄａｂｒｏａｄｉｎｔｈｅｐａｓｔｄｅｃａｄｅａｒｅｒｅｖｉｅｗｅｄ；ｔｈｅｅｆｆｅｃｔｓｏｆｌａｓｅｒｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ，ｔｈｉｎ ｆｉｌｍｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓａｎｄｔｈｉｎｆｉｌｍｐｏｓｔｔｒｅａｔｍｅｎｔｏｎｔｈｅｆｉｌｍｄａｍａｇｅｔｈｒｅｓｈｏｌｄａｒｅａｌｓｏｄｉｓｃｕｓｓｅｄ．Ｏｎｔｈｉｓｂａｓｉｓ，ｔｈｅ ｒｅｓｅａｒｃｈａｎｄｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｔｒｅｎｄｏｆｉｍｐｒｏｖｉｎｇｈｉｇｈｒｅｆｌｅｃｔ