净化间工作须知.pdf

中国科学院物理研究所微加工实验室 净化间工作须知 （1 ） 工作时间 微加工实验室的工作时间为上午8:00 至18:00。请用户严格遵守预约时 间，不要迟到，如取消预约时间至少提前一天联系设备责任工程师。特殊情 况下，用户可提前申请预约非固定工作时间，一般应提前3－5 天，以便实验 室安排相应的值班人员。为了安全起见，实验室严禁任何时间只有一名用户 单独工作的情况发生。 （2） 进入净化间 a) 物理所内取得仪器独立操作资格的用户在认真阅读实验室相关制度，并 签名保证严格执行协议后，经实验室主管领导同意方能取得进入净化间 工作资格。不具备进入净化间工作资格的人员严禁进入净化间。确因工 作关系，需要进入净化间者，须经实验室主管领导批准，在实验室工作 人员或有进入资格的人员全程陪同下，方可进入净化间。在净化间内严 禁擅自触动任何仪器设备，负责陪同的实验室工作人员或有进入资格的 人对所陪同人员在实验室的一切行为负有监督责任。 b) 任何人严禁携带与实验工作无关的物品进入净化间，若确需带入，应先 报告实验室工作人员，确认是否可以带入净化间，经许可方可带入。 c) 微加工实验室安装了门禁系统，用户出入采取刷卡方式，进入和离开实 验室均需刷卡。凡经过培训与考核并已取得仪器独立操作资格的用户均 可申请实验室出入卡，在得到确认并授权后方可使用此卡在工作时间进 出净化间，但严禁此时未刷卡人员随同进入。进出实验室必须进行登 记，在记录本上登记进入时间和目的。经实验室主管领导同意进入的临 时人员，由陪同的实验室工作人员或有进入资格的人员负责登记，并在 登记表备注栏中签署陪同人员姓名。登记后，须在换衣间的门外脱鞋， 并把鞋放入门鞋柜内。 中国科学院物理研究所微加工实验室 净化间工作须知 d) 进入更衣间需换鞋并正确穿着净化服，观察墙上的示范图，注意将帽子 的下沿放入净化服的衣领内，裤腿放入鞋筒内。进入风淋室前，须踩在 粘尘垫上清洁鞋底，并对照衣帽镜检查净化服穿戴是否合格，然后进入 风淋室，待风淋结束后进入净化间。注意：进出风淋室须将门关好。在 净化间内要轻关门，避免引起震动。 注意： 微加工实验室要求洁净的工作环境，进入实验室的任何人都必须穿着净 化服，并按照指定的路径进入。在实验室工作的人是最大的污染源。衣物、 皮肤、头发等产生的颗粒物将危及您的研究目标。严格执行实验室规章制度 和我们提出的如下要求，将是实现研究目标的根本保证。 下列规则必须遵守： • 不要带入任何与工作无关的物品，包括个人背包、外套、书籍、报纸及饮 料等 • 不要化妆 • 不要将头发露出净化服，不要在更衣间和净化间梳头 • 不要在净化间使用铅笔和橡皮擦 • 不要将包装材料带进净化间，应在净化间外打开包装纸盒 • 带入净化间的任何仪器、配件和工具等必须在净化间外预先清洁 • 不得在净化间内进食 • 不得在实验室听音乐和从事任何娱乐活动 • 禁止在净化间内高声谈论或大声喧哗 中国科学院物理研究所微加工实验室 净化间工作须知 （3） 净化间工作规则 a) 在净化间工作的人员应保持净化间的回风口畅通，不要堵塞。不同房间的 门应保持关闭，样品传递应放在传递盒中传送，尽量减少开门次数。严格在 实验室划分的工作区域和指定的设备上从事相应工作。净化间的温度（20－ 22℃）和湿度（40－60％RH）都是由空调和控湿系统精确控制的，在实验室 工作的任何人发现室内温度、湿度或其它异常现象及安全隐患时，应停止工 作，立即通知实验室工作人员检查，延误报告造成损失者要承担责任。实验 室设有值班人员信息牌，由值班人员负责当天的实验室安全。如遇到问题， 请直接联系当天值班人员或仪器的负责人。 b) 只有具备仪器独立操作资格的人员才能操作实验室的相关设备，操作者必 须详细填写实验记录。实验过程中出现任何故障，应首先报告实验室工作人 员，并记录故障发生的过程及现象。不得擅自维修或改动仪器参数，实验进 行中不得擅自离开。微加工实验室仪器设备价格昂贵，系统复杂，用户不得 擅自拆卸仪器，人为因素造成仪器损坏，应照价赔偿。 c) 实验结束后应及时取出样品，并保管好。实验室有专门的存放个人实验 物品的样品柜，禁止在仪器设备或实验台上乱放实