多孔阳极氧化铝膜的制备及其膜结构影响因素研究.pdf

　２０１７年９月 第３２卷 第５期　　　　　　　 ·４９· ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＬＩＧＨＴＩＮＤＵＳＴＲＹ　Ｖｏｌ．３２Ｎｏ．５Ｓｅｐ．２０１７ 引用格式：宋海媚，李顺灵，王立杰，等．多孔阳极氧化铝膜的制备及其膜结构影响因素研究 ［Ｊ］．轻工学报，２０１７，３２（５）：４９－５６． 中图分类号：ＴＢ３３　　文献标识码：Ａ　　 ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．２０９６－１５５３．２０１７．５．００７ 文章编号：２０９６－１５５３（２０１７）０５－００４９－０８ 多孔阳极氧化铝膜的制备及其 膜结构影响因素研究 Ｒｅｓｅａｒｃｈｏｎｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｏｆｐｏｒｏｕｓａｎｏｄｉｃａｌｕｍｉｎｕｍｏｘｉｄｅｆｉｌｍａｎｄｉｔｓｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｉｎｆｌｕｅｎｃｉｎｇｆａｃｔｏｒｓ １ ２ １ １ １ １ 宋海媚 ，李顺灵 ，王立杰 ，张琰 ，董梦果 ，杨清香 ， 陈志军１ １ ２ １ １ １ ＳＯＮＧＨａｉｍｅｉ，ＬＩＳｈｕｎｌｉｎ，ＷＡＮＧＬｉｊｉｅ，ＺＨＡＮＧＹａｎ，ＤＯＮＧＭｅｎｇｇｕｏ， １ １ ＹＡＮＧＱｉｎｇｘｉａｎｇ，ＣＨＥＮＺｈｉｊｕｎ １．郑州轻工业学院材料与化学工程学院，河南 郑州４５０００１； ２．河南金谷实业发展有限公司，河南 郑州４５０００６ １．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭａｔｅｒｉａｌａｎｄＣｈｅｍｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＺｈｅｎｇｚｈｏｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＬｉｇｈｔＩｎｄｕｓｔｒｙ，Ｚｈｅｎｇｚｈｏｕ ４５０００１，Ｃｈｉｎａ； ２．Ｈｅ′ｎａｎＪｉｎｇｕＩｎｄｕｓｔｒｙＤｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔＣｏ．，Ｌｔｄ．，Ｚｈｅｎｇｚｈｏｕ４５０００６，Ｃｈｉｎａ 摘要：以铝为模板，通过二次阳极氧化法制备多孔阳极氧化铝（ＡＡＯ）膜，利用原 关键词： 子力显微镜观察ＡＡＯ膜的微观形貌，分析退火处理、电化学抛光处理、阳极氧 阳极氧化；ＡＡＯ膜；原 化电压、阳极氧化时间等因素对ＡＡＯ膜结构的影响，结果表明：ＡＡＯ膜的物相 子力显微镜；有序性 为非晶态，但经高温退火处理所得ＡＡＯ膜会被部分晶相化；电化学抛光能有效 Ｋｅｙｗｏｒｄｓ： 改善孔洞分布的均匀性．当氧化电压在４０～５５Ｖ范围内，ＡＡＯ膜的孔径随着阳 ａｎｏｄｉｃｏｘｉｄａｔｉｏｎ； 极氧化电压的升高而增大，膜孔洞结构排布的有序性也得到增强；膜孔孔径大 ＡＡＯｆｉｌｍ；ａｔｏｍｉｃ 小分布在４０～１００ｎｍ之间；阳极氧化时间对膜的孔径没有显著影响；当电解液 ｆｏｒｃｅｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ； 温度在０～２０℃范围内，ＡＡＯ膜的孔径随着电解液温度的升高而减小，且ＡＡＯ ｏｒｄｅｒｉｎｇｄｅｇｒｅｅ 膜的有序性也随之增强． 　　收稿日期：２０１６－０６－１０；修回日期：２０１７－０２－２７ 基金项目：国家自然科学基金项目２０９７６１６８） 作者简介：宋海媚（１９９１—），女，河南省信阳市人，郑州轻工业学院硕士研究生，主要研究方向为材料表界面物理与化学 及功能材料． 通信作者：陈志军（１９６３—），男，河南省信阳市人，郑州轻工业学院教授，博士，主要研究方向为材料表界面物理与化学及 功能材料． ·５０·