成膜树脂对重氮萘醌体系正性光致抗蚀材料性能的.pdfVIP

成膜树脂对重氮萘醌体系正性光致抗蚀材料性能的.pdf

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18 1 Vo1. 18,No. 1 2000 2 PHOTOGR PHIC SCIENCE ND PHOTOCHEMISTRY Feb., 2000 应用与发展 * 薛永薰 邬 兰 王 鹏 ( , 300163) 感光材料, 成膜树脂,重氮萘醌体系, 抗蚀材料 () , . . PS . , . : , , [1] , ., ,., ,. , , . , , ,. ,, [2] 5 , . , [ 3] , . , , [ 4] . IBM , . , . , ,, 1999-04- 12 , 1999-11-25 . * 85 86 18 [5] , . (M.Hanabata) , ,, . . PS , PS . , . 1 ,, , , . , [ 6] ( R o) ,( Rp) . , , , ( ,, ) . , . , C [ 7] . ,. , 13 , C . 2, 3, 4-

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