热蒸镀机与高温炉管之制程与设备技术初步实务.pdf

東南技術學院機械工程系 專題製作報告 熱蒸鍍機與高溫爐管 之製程與設備技術初 步實務 指導老師 ：王俊程 學 生 ：蔣效穎 李秀玲 中華民國90 年 12 月 25 日 1 東南工業專科學校機械工程科 專題製作評審老師審定書 蔣效穎 、李秀玲 君所提之報告 熱蒸鍍機與高溫爐管 之製程與設備技術初步實務 經過審議後 ，認為符合專題製作標準 專題製作評審老師 史 雷 呂 增 乾 陳 之 維 專題製作指導老師 王 俊 程 中華民國 90 年 12 月 25 日 2 摘 要 本專題所進行的是熱蒸鍍機與高溫爐管的實習 ，除了對機台的製程 原理了解外 ，也對機台操作流程有完整的學習 ，包括仔細的紀錄下每 一個步驟與操作 。 在半導體製程的物理氣相沉積技術中 ，蒸鍍是發展較為早期的一種 技術 。蒸鍍系統主要由一個真空蒸鍍室 ，和一組用以提供蒸鍍所需之 真空度的真空抽氣系統所組成的 ，對欲鍍物以加熱的方式 ，可利用熱 阻絲或電子槍等。本次熱蒸鍍機實驗的目的是想量測鋁蒸鍍沉積的厚 度速度 。 在北區微機電中心的實習中 ，高溫爐管是作為前面製程完成之後的 後續處理 ，包括擴散 、退火等等 。 溫控系統是整個爐管最重要的部分 ，因為溫度不對會造成元件電特 性漂移 ，進而影響產品良率 。作業時要保持爐管之潔淨 ，由於爐管製 程都在高溫 ，一旦進入管內則會擴散相當快速 ，所以必須常清洗石英 管 ，這是作業時很重要的 。 3 目 錄 摘 要3 第一章 緒論5 第二章 熱蒸鍍機製程與設備基礎8 2-1 緒論 8 2-2 熱阻式蒸鍍機 9 2-3 電子束蒸鍍機 11 第三章 北區微機電中心之熱蒸鍍機實習 14 3-1 真空泵浦輸入顯示 14 3-2 排氣控制流程 15 3-3 膜厚計 17 3-4 熱蒸鍍機之操作程序 18 第四章 高溫爐管製程與設備基礎 25 4-1 溫控系統 25 4-2 氧化與供氣系統 26 4-3 爐管設備之晶片上下載系統 27 4-4 爐管之清潔 28 4-5 新式爐管設備 29 第五章 北區微機電中心之高溫爐管實習 32 5-1 機台操作鍵 32 5-2 機台操作程序 33 5-3 機台程式設定步驟 34 第六章 結論 39 參考文獻 40