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第 35 卷 第 6 期 广东工业大学学报 Vol. 35 No. 6
2018 年 11 月 Journal of Guangdong University of Technology November 2018
doi: 10.12052/gdutxb.180075
氮化硅陶瓷球研磨抛光技术研究进展
1 1 1 1 1,2
肖晓兰，阎秋生，林华泰，焦竞豪，刘 杰
（1. 广东工业大学 机电工程学院，广东 广州 510006；2. 广州番禺职业技术学院 机电工程学院，广东 广州 511483）
摘要: 氮化硅陶瓷球是重大装备中轴承的关键基础元件, 球体的超精密研磨抛光质量是影响轴承性能与寿命的重要因
素. 本文从加工方法的角度, 总结了陶瓷球研磨抛光技术的研究进展, 对不同的陶瓷球超精密复合抛光方法进行了比
较分析, 并提出了一种新型抛光方法, 即集群磁流变抛光陶瓷球的方法. 该方法初步测试显示, 经3 h的抛光, 氮化硅陶
瓷球的表面粗糙度Ra由50 nm下降到5 nm, 球度达到0.11~0.22 μm.
关键词: 氮化硅陶瓷球；研磨；复合加工；集群磁流变；抛光
中图分类号: TH709 文献标志码: A 文章编号: 1007–7162(2018)06–0018–06
Research Progress of Silicon Nitride Ceramic Ball Grinding and
Polishing Technology
1 1 1 1 1,2
Xiao Xiao-lan, Yan Qiu-sheng, Lin Hua-tai, Jiao Jing-hao, Liu Jie
(1. School of Electromechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China;
2. School of Mechanical and Electrical Engineering, Panyu Vocational and Technical College, Guangzhou 511483, China)
Abstract: Silicon nitride ceramic ball is the key element of bearings in heavy equipment, and the ultra-precision
grinding and polishing quality of the balls is an important factor affecting the bearing performance and life. From
the angle of the processing m
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