类富勒烯薄膜的载荷依赖摩擦滞后行为研究.pdf

第46 卷 第9 期 表面技术 2017 年9 月 SURFACE TECHNOLOGY ·107 · 表面摩擦磨损与润滑 类富勒烯薄膜的载荷依赖摩擦滞后行为研究 1 1,2 2 2 1,2 2 杨保平 ，薛勇 ，张斌 ，王永富 ，王兆龙 ，张俊彦 （1.兰州理工大学 石油化工学院，兰州 730050；2.中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室，兰州 730000） 摘 要： 目的 研究类富勒烯薄膜（FL-C:H ）的载荷相关性摩擦滞后行为。方法 采用直流等离子体化学气 相沉积技术（DC-PECVD ）在硅基底上制备了FL-C:H 薄膜，通过场发射扫描电镜（FE-SEM ）、X 射线光电 子能谱（XPS ）、高分辨透射电镜（HRTEM ）和拉曼光谱仪分别表征了薄膜的厚度、元素结合能状态以及微 观结构，利用纳米压痕仪测定了薄膜的硬度及弹性恢复，借助往复摩擦磨损试验机考察了不同频率时变载 荷条件下的摩擦滞后行为。结果 以 CH4 和 H2 为前躯体制备的 FL-C:H 薄膜具有良好的机械性能，硬度和弹 性模量分别为 23.42 GPa 和 162.27 GPa，弹性恢复高达~82% 。所制备薄膜与 GCr15 球配偶摩擦时，表现出 良好的摩擦学性能，在循环载荷条件下表现出摩擦滞后行为。结论 FL-C:H 薄膜在循环载荷条件下的摩擦滞 后现象与所对应的频率有关。主要是由于大气环境下，摩擦界面处 H2O、O2 吸附造成氧化反应和磨损的共 同作用。 关键词：类富勒烯薄膜；力学性能；循环载荷；摩擦滞后；吸附；氧化反应 中图分类号：TG174.45 文献标识码：A 文章编号：1001-3660(2017)00-0107-07 DOI ：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.09.017 Load-dependent Friction Hysteretic Behaviors of Fullerene-like Films 1 1,2 2 2 1,2 2 YANG Bao-ping , XUE Yong , ZHANG Bin , WANG Yong-fu , WANG Zhao-long , ZHANG Jun-yan (1.School of Petrochemical Engineering, Lanzhou University of Technology, Lanzhou 730050, China; 2.State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China) ABSTRACT: The work aims to investigate the load-dependent friction hysteretic behavior of fullerene-like films (FL-C:H). The FL-C:H films were prepared on silicon substrate by direct current plasma enhanced chemical vapor deposition (DC-PECVD) tec