劳动出版社电子课件-《传感器应用技术》-B02-96415-3.pptVIP

第五章 力传感器 第三节 压电式力传感器 压电式传感器是以某些晶体受力后在其表面产生电荷，当外力去掉后，又重新恢复到不带电状态的压电效应为转换原理的传感器。它可以测量最终能变换为力的各种物理量，如力、压力、加速度等。 压电传感器具有结构简单、体积小、重量轻、灵敏度和精度高等特点。压电式传感器在电声学、生物医学、工程力学等方面的应用越来越广泛。 一、压电式传感器工作原理 1.压电效应 （1）正压电效应 （2）逆压电效应 利用逆压电效应可制成多种超声波发生器和压电扬声器。 如图所示是压电效应的示意图。 一、压电式传感器工作原理 2.压电材料的分类及特性 压电式传感器中的压电元件材料一般有三类：一类是压电晶体（单晶体）；另一类是经过极化处理的压电陶瓷（多晶体）；第三类是高分子压电材料。 （1）石英晶体 （2）水溶性压电晶体 （3）铌酸锂晶体 （4）压电陶瓷 1）钛酸钡压电陶瓷 2)锆钛酸铅系压电陶瓷 3)铌酸盐系压电陶瓷 （5）压电半导体 （6）高分子压电材料 一、压电式传感器工作原理 3.压电元件常用的结构形式 在压电传感器中，常用两片或多片组合在一起使用。如图所示。 一、压电式传感器工作原理 4.压电材料的选择 （1）具有较大的压电常数。 （2）压电元件的机械强度高、刚度大并具有较高的固有振动频率。 （3）具有高的电阻率和较大的介电常数，以期减少电荷的泄露以及外部分布电容的影响，获得良好的低频特性。 （4）具有较高的居里点。。 （5）压电材料的压电特性不随时间蜕变，有较好的时间稳定性。 二、压电式传感器测量电路 1.压电式传感器的等效电路 压电式传感器在受外力作用时，在两个电极表面将要聚集电荷，且电荷相等，极性相反。 因此，可以把压电式传感器等效成一个与电容相并联的电荷源，如图a所示，也可以等效成一个电压源，如图b所示。 二、压电式传感器测量电路 压电式传感器与测量仪表连接，还必须考虑电缆电容Cc，放大器的输入电阻Ri和输入电容Ci以及传感器的泄露电阻Ra。如图所示压电式传感器完整的等效电路。 二、压电式传感器测量电路 2.压电式传感器的测量电路 （1）电压放大器 压电传感器接电压放大器的等效电路如图所示。 二、压电式传感器测量电路 （2）电荷放大器 电荷放大器是一种输出电压与输入电荷量成正比的前置放大器。它实际上是一个具有反馈电容的高增益运算放大器。如图示是压电传感器与电荷放大器连接的等效电路。 * 压电效应示意图 在以上两种连接方式中，并联法输出电荷大，本身电容大，因此时间常数也大，适用于测量缓变信号，并以电荷量作为输出的场合。串联法输出电压高，本身电容小，适用于以电压作为输出量以及测量电路输入阻抗很高的场合。 压电元件的串、并联 a）电荷源；b）电压源 压电传感器的等效电路 压电传感器实际等效电路 压电传感器接电压放大器的等效电路 电荷放大器等效电路