面形精度评价方法研究-光学工程专业毕业论文.docxVIP

mE精度计愉方法训究面形精度评价方法研究 mE精度计愉方法训究 面形精度评价方法研究 中文提要 对光学元件进行面形精度的分析，以评价它是否满足使用要求，这是光学面形检 测的重要组成部分。光学元件根据它的不同用途，需要选择合理的评价指标对其面形 误差进行分析。 传统的光学系统的面形评价指标主要有峰谷值、均方根值以及中心点亮度等。本 文深入研究了这些面形评价指标及它们之间的联系。对峰谷值和均方根值之间存在的 比例关系在理论上和统计上进行了研究，得到：抛光后的光学表面，由于涉仪测得的 面形数据经泽尼克多项式拟合后，其峰谷值与均方根值大约是3～5倍的关系，而由位 相法得到的实测值经统计分析发现两者更多的表现出7～lO倍的关系。利用计算机优 化方法得到了中心点亮度和均方根值的极限曲线，并模拟出了同一均方根值对应的中 一b点亮度为最小和最大两种极限情况下及极限情况之间的面形，通过对它们面形特征 的比较分析，得到：均方根误差一定的表面，其中心点亮度位于极限曲线之间，它的 高低将由面形误差的空间频率分布决定。若面形误差的中高频分量较高，它的中心点 亮度将较低。 对用于评价中频段面形误差的功率谱密度方法进行了研究，给出了一维功率谱密 度和二维功率谱密度的计算方法，提出了用旋转二维功率谱密度或波前数据的方法得 到圆形孔径光学元件任一截线方向的一维功率谱密度。 关键词：光学检测，面形评价，中心点亮度，功