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海鑫净化设备海鑫净化设备无尘室的使用维护管理摘要无尘室洁净度之维持和控制除了硬设备之配合投资外也需要良好的软件管理制度来搭配方能维持良好的洁净度无尘室运转管理可依作业人员原物料设备及无尘室内所用东西等加以探讨无尘室内系统除了通称的空调系统之外制程设备也包括在内本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明关键词无尘室污染源运转管理维护保养一污染源控制无尘室洁净度之维持和控制除了硬设备之配合投资外也需要良好的软件管理制度来搭配方能维持良好的洁净度无尘室内之微污染来源经测试分析结果作业人员占约如图所示
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无尘室的使用维护管理
摘要：无尘室洁净度之维持和控制，除了硬设备之配合投资外，也需要良好的软件——管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度；无尘室运转管理，可依作业人员、原物料、设备及无尘室内所用东西等加以探讨；无尘室内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。
关键词：无尘室 污染源 运转管理 维护保养
一、污染
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