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- 2019-05-24 发布于天津
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文件名称:集成中心净化间使用规范 第1版 第1次修改
文件编号:Q/IS JC1-G009 共11页 第 PAGE 1页
总则:
半导体集成技术中心超净工艺线为保持超净度,维持安全运行,使所有人员都能在一个良好的环境中工作,并保证工作环境持续有效,特制订本条例。
集成中心净化间管理条例:
私自带人进入集成中心工艺线
门禁卡转借他人
用别人的卡进入集成中心工艺线
私自带出集成中心化学药品或其他物品
以上条例一旦触犯将被停卡两月至半年,无卡人员推迟办卡两月至半年
集成中心净化间警告:
乱翻抽屉,乱拿他人物品
擅自带入实验装置,擅自在净化间配制洗液等化学药品摆放侵占公共场地而不通知中心管理人员
打碎,打翻化学试剂后借口试验忙推迟处理或擅自离开
用完热源之后不关闭电源,下班后用完水浴不倒水
工艺完毕之后不收拾个人用品,废液荒置,不回收废液
下班后离开,不关本房间的灯和电,不关使用过的轻,重腐蚀间的灯,不关闭大厅要求关闭的电闸
以上警告发生三次将被停卡两个月
安全逃生和工艺安全
进入净化间以后首先注意观察逃生通道的线路以及通往外界的各个安全门的位置以及应该如何打开;
进入清洗间工作时应该注意自来水的位置,并注意水流是否流畅,便于及时冲洗和
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