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TDR85A-ZJS单晶炉的机械 结构与维修 背景 — 半导体生产流程 设 备 简 介 直拉式单晶硅生长炉是一种高效率制备硅单晶体的设备。 将多晶硅原料放在炉体的石英坩埚内进行高温熔化（大于1450℃），在低真空度和氩气保护下，通过籽晶插入多晶硅熔体后，在籽晶周围形成过冷态并进行有规律结晶生长，形成一根单晶棒体。 工艺过程 抽真空 检漏 调压 熔料 稳定 熔接 引晶 放肩 转肩 等径 收尾 停炉 氧化 熔 料 引 晶 放 肩 等 晶 收 尾 TDR85A-ZJS全自动晶体生长炉 整体结构尺寸 整体结构尺寸 接口尺寸 籽晶提升机构经过静平衡和动平衡测试 带称重传感器 快慢速双电机 外置限位调节 观测玻璃窗 光电编码计行程 晶体提升机构结构（主视） 晶体提升机构结构（俯视） 晶体提升腔拆装及调整 晶体提升腔拆装及调整 晶体提升腔拆装及调整 晶体提升腔拆装及调整 籽晶钢缆的对中 晶升离合器的调整 晶体提升机构维护周期表 坩埚提升机构 滚珠直线导轨 精密丝杆，自锁 承受轴向力磁流体密封 快慢速双电机 光电编码计行程 坩埚提升机构（主视） 坩埚提升机构（俯视） 坩埚提升机构拆装及调整 坩埚提升机构拆装及调整 坩埚提升机构维护周期表 翻板阀的调整 水平调整机构 副室旋转机构 氩气分流系统 真空系统 冷却水系统 采用了国内首创、独特的副炉室自动旋转机构，可在副炉室提升到位时的缓慢旋开和快速旋闭，提高取晶的安全性； 采用特殊的隔离阀板水冷内循环结构，避免了采用浮动式翻板阀中软管及接头漏水的隐患； 采用独特的氩气分流环结构，保证在拉晶过程中氩气气流的均匀性。 谢 谢 ！ 采用光学系统将晶体图像分到2个独立CCD完成引晶、等径的单独控制。 图像处理速度快，引晶跟踪能力强，引晶效果好 机械调整简单 双CCD测径系统 机械结构设计特色 * * 拉制单晶棒 （本产品研究环节） 石英砂－金属硅 多晶 单晶硅棒 单晶硅片 集成电路 太阳能电池 太阳能电池应用 集成电路应用 加热器 籽晶 CCD 坩埚提升旋转机构 坩埚 籽晶提升旋转机构 单晶棒 液面测温仪 热场测温仪 氩气流量 炉体 电控柜 电源柜 总重 晶体提升机构 1、拔下称重传感器腔上的航空插头。 2、从钢丝绳上取下籽晶夹头。 3、将缆索管下降到如左图所示位置之后，取下钢丝绳。 4、松开第二级蜗轮蜗杆减速箱输出轴上卡环的内六角螺钉，松开刚性连轴器右侧的紧定螺钉，将其向外滑出。小心不要把联轴器上的十字块跌落。 5、松开行程块的2颗固定螺钉，卸下同步带。 6、拆下把提升腔固定到晶升底板上的两个螺钉。螺钉是从底板下面向上旋进的。 7、把提升腔垂直平稳向上提起，小心不要破坏提升腔的内孔以及晶转磁流体密封的O型圈和轴。 8、松开2颗铰链螺钉，使称重腔与提升腔脱离。 拆装钢丝绳时缆索管位置 取出压力辊子组件 右端盖 左端盖 取出右端盖 花键轴、缆索管 取出晶转磁流体 10 拆下提升腔右端盖的4颗螺钉。 11 拆下提升腔左端盖的盖板，用铜棒敲击花键轴，将 其向右端推出，同时顺时针旋转花键轴使得缆索管从铜螺母的螺纹上脱开，将花键轴、缆索管、右端盖以及晶转磁流体密封作为一个整体从提升腔内抽出。 12 用小拉马取下花键轴左端的滚动轴承。 13 松开并取下把花键轴滑套固定到缆索管上的4颗螺钉。 9 松开压力滚子组件固定到提升腔上的4颗螺钉，拆下 压力滚子组件。 14 将缆索管从花键滑套上拉出，小心，不要把滑套拉出花键轴，否则，滚珠将会从滚槽中掉下来。 15、拆下提升腔左端盖的4颗螺钉，将左端盖连同铜螺母一起从提升腔内抽出。 16、拆下把铜螺母固定到盖端上的4颗螺钉，取下铜螺母。 17、重装时，首先铜螺母装回端盖，装回把铜螺母固定到盖端上的4颗螺钉。 18、将右端盖装回提升腔，上紧固定螺钉。 19、将缆索管装入花键滑套，上紧固定螺钉。 20、装回花键轴左端的滚动轴承。 21、将花键轴、缆索管、右端盖以及晶转磁流体密封作为一个整体从提升腔右侧送入，逆时针旋转花键轴使得缆索管拧入铜螺母，将右端盖完全压入提升腔，上紧4颗固定螺钉。 22、装回提升腔左端盖的盖板，拧紧固定螺钉。 23、装回压力滚子组件，拧紧压力滚子组件固定到提升腔上的4颗螺钉。 24、将对中针从提升腔下面晶转磁流体孔放入，检查钢缆螺纹与磁流体孔中心的位置，保证磁流体孔中心与所对应螺纹的中心的偏差不大于0.05mm。 左端盖及铜螺母 对中针 缆索管的对中 25、提升腔垂直向下放到底板上，小心不要破坏提升腔的内孔以及晶转 磁流体密封的O型圈和轴。在O型圈上抹少量的真空脂将有助于提升腔的装入。 26、装回把提升腔固定到底板上的两颗螺钉。 27、装回称重腔，拧紧铰链螺钉。