脉冲激光作用下铁电薄膜的热力电响应-物理电子学专业毕业论文.docxVIP

易文明硕士 易文明 硕士论文 I I 摘 要 铁电薄膜因其具有独特的铁电性、压电性、介电性、热释电性以及非线性光学等性 能, 在现代微电子、微机电系统(MEMS)、信息存储等方面有着广泛的应用前景, 已经成 为当前新型功能材料研究的热点之一。因此，铁电薄膜的制备及性能的研究是目前国际 上高度关注的研究课题。由于铁电薄膜材料用于许多微器件，尤其在航空器件的工作过 程中，薄膜不可避免地要经历许多严重的热载荷作用。材料或者结构可能遇到气动力加 热、激光辐照和点火等造成的局部急剧升温情况。此时，薄膜表面在短的时间内吸收大 量的能量，会使薄膜温度迅速升高进而导致热应力水平急剧提高。当温度超过居里温度 或者由于应力集中引起了裂纹扩展，这将导致器件失效。为了研究铁电薄膜在动态热载 荷下的失效特征，必须首先解出热-力-电场。因此，铁电薄膜在脉冲激光热作用下的热 力电响应的研究对压电薄膜体系在动态加热工作状况下的寿命预测和失效机制的研究， 具有极其重要的意义。 本文用解析和数值模拟两种方法研究了锆钛酸铅(PZT)和具有铋层状类钙钛矿结构 的钛酸铋钕(BNT)的铁电薄膜在脉冲激光作用下的热力电响应。并对解析和数值模拟的 结果进行了比较。主要内容有： 1．在理论上建立一个圆柱模型。用压电势函数方法从热传导方程和热力电本构关系 出发，通过建立合适的边界条件，求解出动态热载荷作用下铁电薄膜体系的热力电场的 解析解，并用 MATLAB 程序对这些解析解进行数值计算。同时为了验证我们推导的压 电势函数法的正确性，用有限元法对铁电薄膜在脉冲激光作用下的热力电场进行模拟。 2．参数准备。为了计算 PZT 和 BNT 的热力电场，必须要得到它们的各种材料参数。 首先通过查找文献得到了 PZT 的材料参数；然后利用钛酸铋的机械性能参数近似得到了 BNT 材料的机械性能参数；同时用金属有机源分解(MOD)的方法制备了 BNT 粉末，并 利用调制温度的示差扫描量热仪(MTDSC)测量得到了 BNT 材料的比热容和热传导系 数。 3．通过 MATLAB 数值计算和有限元模拟，研究在脉冲激光作用下 PZT 和 BNT 铁 电薄膜的热力电场。两种方法得到的结果符合得比较好。在脉冲激光作用下 PZT 铁电薄 膜内的温度场主要由激光加载的空间和时间分布决定。PZT 铁电薄膜中径向位移比垂直 方向的位移要大得多，而且径向电位移也比垂直方向的电位移要大得多。在激光辐照区 域内正应力和剪应力都比辐照区域外大，所有的径向，环向和垂直方向应力都是压应力。 而且，径向和环向应力的值要比垂直方向的正应力和剪应力大得多。由于压的径向和环 向应力，在激光作用区域内的薄膜界面处可能出现剥离现象，进而导致界面裂纹的产生 和扩展。在同样激光参数和薄膜尺寸条件下，BNT 与 PZT 有着类似的热力电场分布。 但 BNT 薄膜中的温度要低于 PZT 薄膜。BNT 薄膜中的应力值要大于 PZT 薄膜。相对 PZT 薄膜来说，BNT 薄膜中产生更大的位移和更小的电场。这些结果对压电薄膜体系在 II II 动态加热工作状况下的寿命预测和失效机制的研究提供了一定的理论指导。 关键词：热力电响应；脉冲激光；压电势函数法（PPFM）；有限元法(FEM)；PZT 铁电 薄膜；BNT 铁电薄膜 PAGE PAGE IV Abstract Current interest in ferroelectric thin film results from the numerous potential applications in micro electronics, micro electromechanical system (MEMS) and information storing that utilize the unique ferroelectric, dielectric, pyroelectric, electro-optic, acousto-optic, and piezoelectric properties of the material. Therefore, the preparation and properties studies on the ferroelectric thin film have attracted great attention. It is well known that the ferroelectric thin films operating in many structural components, especially aerospace component, are ineluctably subjecte