青岛大学机电工程学院机械工程测试技术课件 第七章（1）.pptVIP

初始位置时 动极板上移： 定极板 δ2 定极板 动极板 C2 C1 δ1 差动电容传感器 一、极距变化型电容传感器 当△δ/δ0＜＜1时： 电容量的相对变化 略去高次项 非线性误差为： 灵敏度： （提高一倍） （减小） 二、面积变化型电容传感器 一般用于测量角位移或较大的线位移。 三、电容式传感器信号处理电路 ★ 传感器本身电容很小（几微法～几十微法），易受外界寄生电容干扰甚至淹没。 ★ 如何解决问题？ 它是把整个电桥(包含电源电缆等)一起屏蔽起来，设计的关键点在于接地点的合理设置。采用把接地点放在两个平衡电阻R1、R2之间，与整体屏蔽共地。这样，传感器公共极板与屏蔽之间的寄生电容C1与测量放大器的输入阻抗并联，从而可把C1视作放大器的输入电容。 由于放大器的输入阻抗应该很大，C1的并联也不希望存在，但它只是影响灵敏度而已。另两个寄生电容C3、C4并联在桥臂R1、R2上，会影响电桥的初始平衡和整体灵敏度，并不影响电桥的正常工作。因此寄生参数对传感器电容的影响基本消除。 1） 整体屏蔽法 电源 放大器 公共极板 2）采用驱动电缆技术——实质上是一种等电位屏蔽法。在电容传感器与测量电路的前置级之间采用双层屏蔽电缆，并接入增益为1的驱动放大器。这种接线法：1）使内屏蔽与芯线等电位，消除了芯线对内屏蔽的容性漏电，克服了寄生电容的影响；2）内、外层屏蔽之间的电容变成了驱动放