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十 SMT生产中的静电防护技术 1 静电和静电的危害 静电(Electrostatic )——是物体表面过剩或不足的静止电荷。是一种电能,它存留于物体表面;是正负电荷在局部范围内失去平衡的结果,是通过电子或离子的转换而形成的。静电现象是电荷在产生和消失过程中产生的电现象的总称。如摩檫起电、人体起电等现象。 随着科技发展,静电现象已在静电喷涂、静电纺织、静电分选、静电成像等领域得到广泛应用。但在另一方面,静电在许多领域带来重大危害和损失。 例如第一个阿波罗载人宇宙飞船由于静电放电(ESD)导致爆炸,使三名宇航员丧生;在火药制造过程中由于静电放电,造成机毁人亡的事故时有发生; 在电子工业中,随着集成度越来越高集成电路的内绝缘层越来越薄,互连导线宽度与间距越来越小。例如CMOS器件绝缘层的典型厚度约为0.1μm,其相应耐击穿电压在80~100V;VMOS器件的绝缘层更薄,击穿电压在30V;而在电子产品制造中以及运输、存储等过程中所产生的静电电压远远超过MOS器件的击穿电压,往往会使器件产生硬击穿或软(器件局部损伤)击穿现象。使其失效或严重影响产品的可靠性。 据有关统计,在导致电子产品失效的因素中,静电占8~33%,每年静电的损失高达10亿美圆。 为了控制和消除ESD,美国、西欧和日本等发达国家均制定了国家、军用或企业标准或规定。从静电敏感元器件的设计、制造、购买、入库、检验、仓储、装配、调试、半成品与成品的包装、运输等均有相应规定,对静电防护器材的制造使用和管理也有较严格的规章制度要求。我国也参照国际标准制定了军用和企业标准。例如有航天部、机电部、石油部等标准。 2 静电敏感元器件(SSD) 对静电反应敏感的元器件称为静电敏感元器件(SSD)。 静电敏感元器件主要是指超大规模集成电路,特别是金属化膜半导体(MOS电路)。 例如:MOSFET金属氧化物半导体场效应晶体管静电敏感范围100~200V、场效应管为140~10,000V、CMOS 电路为250~20,000V。 根据SSD能够承受而且不至于损坏的静电极限电压值(也可称为静电敏感度)将静电敏感元器件分为三级。 针对不同级别的SSD器件,应采取不同的静电防护措施。 静电敏感元器件的分级表 3 电子产品制造中的静电源 (1) 人体静电——人体活动,人与衣服、鞋、袜等物体之间的摩檫、接触和分离等产生的静电是电子产品制造中主要静电源之一。 人体活动产生的静电电压约250~12,000V。 空气湿度对静电电压影响很大,若在干燥环境中还要上升1个数量级。 人体带电后触摸到地线,会产生放电现象。 人体对静电放电会产生不同程度的电击感反应,其反应的程度称为电击感度。 相对湿度对与人体活动带电关系 (2) 工作服——化纤或棉制工作服与工作台面、坐椅摩擦时,可在服装表面产生6000V以上的静电电压,并使人体带电,此时与器件接触时,会导致放电,容易损坏器件。 (3) 工作鞋——橡胶或塑料鞋底的绝缘电阻高达1013 ?,当与地面摩擦时产生静电,并使人体带电。 (4) 树脂、漆膜、塑料膜封装的器件放入包装中运输时,器件表面与包装材料摩擦能产生几百伏的静电电压,对敏感器件放电。 (5) 用PP(聚丙烯)、PE(聚乙烯)、PS(聚丙乙烯)、PVR(聚胺脂)、PVC和聚脂、树脂等高分子材料制作的各种包装、料盒、周转箱、PCB架等都可能因摩擦、冲击产生1~3.5KV静电电压,对敏感器件放电。 (6) 普通工作台面,受到摩擦产生静电。 (7) 混凝土、打腊抛光地板、橡胶板等绝缘地面的绝缘电阻高,人体上的静电荷不易泄漏。 (8) 电子生产设备和工具方面: 例如电烙铁、波峰焊机、再流焊炉、贴装机、调试和检测等设备内的高压变压器、交、直流电路都会在设备上感应出静电。如果设备静电泄漏措施不好,都会引起敏感器件在制造过程中失效。 烘箱内热空气循环流动与箱体摩檫、CO2低温箱冷却箱内的CO2蒸汽均会产生大量的静电荷。 人体带电电位与电击感度 从以上数据可以看出 人体在活动、工作服、工作鞋、包装、料盒、周转箱、PCB架、工作台面,地面、电烙铁、波峰焊机、再流焊炉、贴装机、调试和检测等设备等都有可能产生100~35,000V静电。但大多数情况人体毫无感觉。达到25,000V以上人体才能有电击感,静电敏感元器件(SSD)在运输、存储、使用过程中有可能不知不觉的产生硬击穿或软击穿。 因此有人称静电为“无形杀手”并不过分。 4 静电防护原理 电子产品制造中,不产生静电是不可能的。产生静电不是危害所在,其危害在于静电积聚以及由此产
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