参数式传感器及其应用2010 .pptVIP

* 机械电子系统中，信息处理软件被称为柔性智能零件，涉及的范围越来越广，但是基本的问题主要围绕着采集、处理、管理、分析、控制、传输等。 机械电子系统中，信息处理软件被称为柔性智能零件，涉及的范围越来越广，但是基本的问题主要围绕着采集、处理、管理、分析、控制、传输等。 * * 机械电子系统中，信息处理软件被称为柔性智能零件，涉及的范围越来越广，但是基本的问题主要围绕着采集、处理、管理、分析、控制、传输等。 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 应用 电容式压差传感器 结构：变间隙差动方式电容传感器 固定极板:两个凹面镀金的玻璃圆盘 可动电极:一个金属(不锈钢)膜片 当p1≠p2时，膜片弯向一侧，那么两个差动电容一个增大、一个减小，且变化量大小相同 当压差反向时，差动电容变化量也反向 特点：结构简单，灵敏度高，响应速度快(约100ms)，能测微小压差(0～0.75Pa) 电容式差压传感器结构示意图 1－金属镀层 2－凹形玻璃 3－膜片 4－过滤器 5－外壳 3、电容式传感器 应用 电容式微加速度传感器 结构：差动式电容传感器 上、下电极：固定不动 动片：左端固定在衬底上的悬臂梁，可以上下振动时微动 三维方向的振动或加速度测量：在壳体内的三个相互垂直方向安装三个加速度传感器 3硅衬底，4底层多晶硅——上电极，5中间层多晶硅