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- 2019-07-04 发布于天津
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重庆大学磁控溅射镀膜机采购我校拟采购磁控溅射镀膜机一台相关要求如下功能能够用于制备单层或多层铁电薄膜导电薄膜合金薄膜半导体薄膜陶瓷薄膜介质薄膜光学薄膜氧化物薄膜硬质薄膜聚四氟乙烯薄膜等技术参数要求制样室腔体和管道采用不锈钢内部需要抛光处理主真空室尺寸真空度工作真空度极限真空度腔体面部带观察窗口至少个带预留法兰和电极备用电极至少对漏气率封闭真空室关闭抽气系统小时内压强低于小时内压强低于进样室小型进样室腔体和管道采用不锈钢内部需要抛光处理进样室要求具有样品库磁力传递杆清洗功能进样室与制样室可共用抽气
重庆大学磁控溅射镀膜机采购
我校拟采购磁控溅射镀膜机一台，相关要求如下：
1）功能：能够用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。
2）技术参数要求：
制样室
腔体和管道采用304不锈钢，内部需要抛光处理;
主真空室尺寸：≥φ450mm×
真空度：工作真空度：≤1*10-4Pa；极限真空度：≤1*10-5Pa
腔体面部：带观察窗口（至少1个）；带预留法兰和电极，备用电极至少2对；
漏气率：封闭真空室，关闭抽气系统，12小时内压强低于1 Pa，24小时内压强低于10Pa。
进样室
小型进样室。腔体和管道采用3
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