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第七章 机械量测量 机械量测量 机械量测量主要包括位移（线位移及角位移）测量 速度（转速）及加速度测量、 机械振动测量、 力和力矩的测量。 有关力的测量内容已作了介绍。 1.1 概述 线位移量为质点在直线方向位置的变化量，而角位移量则是角度方向位置的变化量。 位移的测量是通过位移传感器将被测位移量的变化转换成电量。 目前测量位移的传感器品种繁多，有接触式或非接触式两大类。 测量方法多样，如电感、变压器、电涡流、电容、电位器等。 1.1概述 常用线位移传感器 变阻式：滑线、变阻器 电阻应变式： 电感式：差动变压器、螺管式、电涡流式 电容式：变面积、变间隙 霍尔元件 感应同步器 长光栅 长磁栅 1.1概述 常用角位移传感器 滑线变阻式，变阻器，应变计式 差动变压器式 自整角机，旋转变压器，微动同步器 电容式，圆感应同步器 圆光栅，圆磁栅 角度编码器：接触式、光电式 1.2 电涡流传感器 电涡流 电涡流消耗一部分能量，在交流电气设备中是一种有害的现象。 工程中电涡流的热效应用作高频加热器。 电涡流产生的磁场线圈阻抗变化效应，用作厚度和位移的检测元件。 电涡流式传感器是利用涡流效应，将非电量转换为阻抗变化而进行测量的。 电涡流例子 如图，一个扁平线圈置于金属导体附近，当线圈中通以正弦交变电流时，线圈周围就产生一个正弦交变磁场。 置于该磁场中的金属导体内就产生电涡流。 后者将产生一个与原磁场方向相反的新磁场，抵消部分原磁场，使通电线圈的有效阻抗发生变化。 阻抗发生变化的原理 若把被测金属导体形象地看作一个短路线圈，则电涡流的相互作用可以用变压器等效电路来表示。 可列出电路方程组为 阻抗发生变化的原理 原边线圈的等效电阻为 线圈的等效电感为 涡流检测的发展史 涡流检测的发展史 涡流检测的发展史 福斯特在基础试验和理论推导的基础上发表了大量有关涡流检测的论文，并创办了福斯特研究所。-----早在50年代。 他的涡流检测技术与设备推动了全世界涡流检测技术的发展。 美国、前苏联、法国、英国、日本也先后做了大量的开发性工作，发表了大量论文， 并都能生产高水平的涡流检测设备。 涡流检测的发展史 我国开展涡流检测的研究工作始于 60年代、并先后研制成功了一系列检测系统。 在我国的航空航天、冶金、机械、电力、化工、核能等领域中正在发挥着愈来愈重要的作用。 涡流阻抗检测法 涡流检测的信号来自于线圈的阻抗或次级线圈的感应电压的变化。但因为影响阻抗和电压的因素很多。 在发展过程中曾提出过多种消干扰的方法，但直到阻抗分析法的引进才使涡流检测技术由重大的突破。 直到目前为止，阻抗检测法依然是涡流检测中应用最广的方法。 高频反射式电涡流传感器的结构如图所示，主要由一个安置在框架上的扁平线圈构成。 线圈外径大、线性范围就大，但灵敏度低；反之，线圈外径小，灵敏度高，但线性范围就小。 为了小型化，也可在线圈内加磁心，提高线圈的品质因数值 高频反射式 电涡流传感器是利用线圈与被测导体之间的电磁耦合进行工作的，因而被测导体材料的物理性质、尺寸与形状都关系到传感器的特性。 一般来说， 1.被测导体的电导率越高，灵敏度也越高；而磁导率对灵敏度的影响则相反。 2.被测体的大小也会影响到灵敏度，若被测体为平面，在电涡流环的直径等于线圈直径处的电涡流密度最大；在电涡流直径为线圈直径的1.8倍处，电涡流密度已衰减为最大值的5%。为了充分利用电涡流效应，被测体环的半径不应小于线圈外半径的1.8倍。 高频反射式 德国米铱测试技术公司开发生产的multiNCDT100非接触电涡流位移传感器。 适用于测量铝材料（非铁磁体被测体），或者钢ST37（铁磁材料） 量程：0～0.5mm和0～15mm。其线性度小于±0.5%，动态分辨率为0.5μm，静态分辨率可达0.05μm，工作极限频率为10kHz（- 3dB） 低频透射式 在上述高频反射式电涡流传感器中，为了使金属导体内电涡流所产生的磁场“反射”效果好，必须提高激励电流的频率，减小贯穿深度。 反之，若将激励电流频率减低，涡流的贯穿深度将加深。采用低频激励的电涡流传感器有较大的贯穿深度，适合于测量金属材料的厚度。 低频透射式 在L1和L2 间放置金属材料M后，L1产生的磁力线必然透过M，并在其中产生电涡流。 涡流损耗了部分磁场能量，使到达L2 的磁力线减少，引起e下降。M的厚度越大，涡流越大，涡流引起的损耗也越大，e就越小。 由此，e的大小反映了材料厚度δ的变化。 低频透射式 输出电势E与厚度δ及贯穿深度t的关系为 贯穿深度t与√ （ρ/f ）成正比， ρ为被测材料电阻率，f 为励磁频率。 材料固定， t与f相关。频率较低时，线性较好、测量范围t 较大，测厚板应选较低的频率 频率较高时，线性差，测薄板应