基于全内反射外差干涉技术微小角度测量系统的研究_毕业论文.docVIP

清华大学2012届毕业论文 第 PAGE 3页 共II页 基于全内反射外差干涉技术微小角度测量系统的研究 目 录 TOC \o 1-4 \h \u 。该测量方法主要是在静态下的相对角度测量。英国国家物理实验室（NPL）的E W P aimer 介绍了一台作为角度基准的径向光栅测角仪，如图1.1所示，既可用于测角，又可用于标定。其原理是利用两块32400 线的径向光栅安装在0.5r/s的同一个轴套上，两个读数头一个固定，一个装在转台上连续旋转，信号间的相位差变化与转角成正比。仪器中用一个自准直作为基准指示器，可以测得绝对角度，利用光栅细分原理可测360度范围内的任意角度，附加零伺服机构可以对转台进行实时调整，限制零漂。用干涉仪作为读数头，可进行高精度测量。按95%置信度水平确定其系统误差的不确定度为0.05。 图1.1 NPL 测角仪原理图 德国联邦物理研究院（PTB）的Angtica Tubner 等人用衍射光栅干涉仪测量转动物体，能够检测角加速度、角速度、转角。检测原理光路图如图1.2所示。单频He-ne激光器发出的光经过柯斯特分束棱镜后在出射方向上分为两束平行光这样由于气流和温度变化引起的两条光路的变化相等。经过变形透镜后直射或斜射到随被测件一起转动的反射型衍射光栅上，该光栅是PTB 特制的2400线/mm 正弦相位光栅。干涉信号由光电探测器接收，该系统检测正弦信号时测量灵敏度不确定度为0.3%，测旋转物体时相位差不确定度为0.2%，该系统的主要问题是灵敏度非常复杂。在此基础上作了相应的改进，并进行了标定。 图1.2 衍射光栅干涉法测角光路原理图 1.2.2 内反射小角度测量法 光从光密介质传到光疏介质时，当入射角大于临界角时发生全反射现象。内反射法小角度测量就是利用在全反射条件下入射角变化时反射光强度的变化关系，通过反射光强的变化来测量入射角的变化的[8]。由于入射角在临界角附近线性较好，随着入射角的微小变化，反射光的强度发生急剧变化，因此测量时通常定义一个临界角附近的初始角，被测角为相对于该初始角的角位移，这样就可以充分利用临界角附近灵敏度较高的特点，进行小角度的高精度测量。该测量方法存在的一个问题是入射角和反射光强之间的关系是非线性的，灵敏度因此受到限制。为了减小函数非线性对测量结果的影响，采用差分式测量[9]，其原理如图1.3 所示。 图1.3 光学内反射差分式测量原理 首先分别测出和的反射光强的变化，然后用线性化公式进行处理，以得到相应的角度值。内反射法[10]是由P S Huang 等人提出来的，用该方法制成的测角仪体积可以做得很小，因此特别适用于尺寸受限制的空间小角度的在线测量，而且结构简单，成本低。测量的灵敏度取决于初始入射角和全反射的反射次数，增加反射次数可以提高灵敏度，提高分辨力，但测量范围就相应变小。因此P S Huang 等人又在此基础上制成多次反射型临界角角度传感器，用加长的临界角棱镜代替图3 的直角棱镜以增加反射次数，如图1.4所示。该仪器可用于表面形貌、直线度、振动等方面的测量。在测量角度方面，在3 弧分范围内的分辨力为0.02弧秒。在接下来的工作中，P S Huang 等人又将其测角范围扩大到30弧分，输出信号峰-峰值的漂移小丁0.04孤秒。该仪器的缺点是成本高，加长的临界角棱镜加工困难。台湾的National Chiao Tung University 的Ming-Hong Chin 等人在此原理的基础上，提出了全内反射外差干涉测角方法[11]。用外差干涉仪测量S偏振光和P偏振光之间的相位差，将传感器的测角范围扩大到10度，分辨力随入射角的大小变化，最佳分辨力可达度。Hong Kong University of Science and Technology 的Wei Dong Zhou 等人采用差动共光路结构[12]，大大提高了系统的线性，并获得了0.3 角秒的最佳分辨力。 1-光电二极管 2-准直透镜 3-通光孔 4-平面反射镜 5-玻片 6-偏振分光镜 7-分光镜 8、9-临界角棱镜 10、11-光电接收器 图1.4 多次反射型临界角度传感器原理 1.2.3激光自准直法 自准直[4]就是在光学上使物和像都在一个平面上，或者说在光学上使物和像分别在共轭平面上，根据这个原理设计的仪器称为自准直仪。从物镜出射的平行光线（成像在无穷远处），经平面反射镜反射回来以后重新进入物镜，在物体所在平面内形成