退火对Y2O3薄膜结构和光学性能的影响.PDF

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2 3 Y O 47 Y2 O3 Effect of Annealing on Structure and Optical Properties of Y2 O3 T hin Films 1, 2 2 2 2 2 , , , , ( 1 , 1000 5; 2 , 100083) 1, 2

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