新型的ISFET微传感器读出电路单芯片集成研究-电子学报.PDFVIP

第 2 期 电　　子 　　学 　　报 Vol . 35 　No . 2 　2007 年 2 月 ACTA ELECTRONICA SINICA Feb . 　2007 　 新型的 ISFET 微传感器读出电路单芯片集成研究 1 ,2 1 1 1 ,2 1 魏金宝 ,杨海钢 ,韩泾鸿 ,孙红光 ,夏善红 ( 1. 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 ,北京 100080 ;2 . 中国科学院研究生院 ,北京 100039) 　　摘 　要 : 　生化微传感集成系统是 目前的研究焦点 ,本文以在线性区和饱和区两种模式下工作的p HISFET 作为 研究对象 ,提出 ISFET 微传感器与其信号读出电路的单芯片集成 ,并深入研究传感机理以及与标准 CMOS 兼容的敏感 材料制备技术. 整个芯片包含 ISFET/ REFET 微传感差分对 、双模式 ISFET/ REFET 放大器 、次级差分放大 、参比电极 Pt 、 恒流源等 ,采用新加坡 Chartered 半导体集成电路公司 33V 标准 CMOS 工艺流片. 同时进行传感器芯片的p H 响应实验 测试 ,获得 53mV/ p H 灵敏度. 关键词 : 　微传感器 ; 读取电路 ; 单芯片 ; 集成系统 中图分类号 : 　TN432 ; TP2123 　　　文献标识码 : 　A 　　　文章编号 : (2007) Monolithic Int e gration of a Novel ISFET Micro sen sor Re a dout Circuit WEI Jinbao1 ,2 ,YAN G Haigang1 ,HAN Jinghong1 ,SUN Hongguang1 ,2 ,XIA Shanhong1 ( 1 The State Key L ab of Transducer Technology , Institute of Electronics , CAS , Beij ing 100080 , China ; 2 Graduate University of the Chinese Academy of Sciences , Beij ing 100039 , China) Ab stract : 　Integration of ISFETs in biochemical SOC (System on a Chip ) is one of today ’s challenges . This article presents a full integration of microsensor and readout circuit containing ISFET/ REFET ( reference FET) p air , ISFET/ REFET amplifiers , bias current generator ,bandgap reference ,as well as a reference electrode structure ,all integrated on the same chip based on CMOS