测试技术与方法review-公开课件.pptVIP

微束分析技术 1、微束分析技术： 利用直径在微米级的微束(电子束、离子束粒子束和激光束等)来激发样品，然后借助相应的探测系统和信息处理系统收集和处理被激发微区所产生的各种信息，如特征x射线、二次电子、二次离子、背散射电子、俄歇电子、透射电子、吸收电子以及阴极荧光等，用以研究微区的化学成分、表面形貌和结构特征等。这就是人们通常所说的微区分析技术或微束分析技术。 电子探针分析的基本原理 电子探针分析的基本原理 保持相同的测试条件(相同的工作电压、束流和探测器效率)，将试样中所测得的某元素A的特征x射线强度与标准样品中元素A的特征X射线强度相比，即得x射线强度比KA。作为一级近似，可以认为，KA大致等于试样中元素A的浓度。然而，若要进行精确的定量分析，必须将X射线强度比进行原子序数修正、吸收修正和荧光效应修正，即通常所说的ZAF修正，从而得到元素A的实际浓度，这就是所谓电子探针定量分析。 电子探针分析测试技术特点 1.综合了电子显微镜和X射线荧光光谱分析的技术 2.可对试样微区测定，分析原子序数4-92的元素 3.感量可达10–14 - 10 –15g ，相对灵敏度为1-5/万 电子探针分析测试技术特点 4.不破坏样品、制样简单、分析速度快、结果直观 5.可对试样微区物质表面形态、结构构造的形貌分析 6.可对试样1?2-几（mm）2范围内元素进行面分布扫描，了解元素在物质中的赋存状态