2005届硕士研究生学位论文摘要-内蒙古科技大学研究生院.DOC

PAGE PAGE 1 2005届硕士研究生学位论文摘要 　　　　　　　　　　　　机械电子工程　　　　　　　　　　　　　 论文题目：物理气相沉积Ti-Si-N纳米复合薄膜生长过程的计算机仿真研究 The Simulation of Ti-Si-N Codeposition Nanocomposite Films Growth with PVD 研究生姓名：王新蒙 导师姓名：刘学杰 教授 专　　　业：机械电子工程 摘　要： 物理气相沉积（PVD）技术作为薄膜材料制备的主要方法之一，其在机械制造业中的应用主要集中在切削刀具表面的强化。Ti-Si-N纳米复合薄膜由于比单一TiN薄膜具有较好的综合机械性能，因此成为硬质薄膜材料研究的主要方向之一。本课题以Ti、Si、N三种粒子共沉积形成的纳米复合硬质薄膜为研究对象，初步尝试用计算机来模拟在单质Ti薄膜和Ti-Si-N三元薄膜生长过程中，入射粒子的吸附、扩散、凝聚成核、团簇长大等行为。通过对模拟结果的分析，来研究沉积过程参数的变化对薄膜微观组织及形貌的影响。 本文在总结蒙特卡罗（MC）和分子动力学（MD）这两种计算机模拟方法各自特点的基础上，采用将微观粒子动力学与Monte Carlo方法相结合的KMC（Kinetic Monte Carlo）方法来做为本课题研究的计算机模拟方法。该KMC模型引入了活粒子的概