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- 2019-05-18 发布于安徽
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兰州大学研究生学位论文
1引言
微波传输线包括常规的波导、双线、同轴线、微带及带状线等。用波导来传输电磁
波能量的优点在于它的功率容量大、损耗低,特别适合于电磁波的波长在10em以下的
波段。在分米波段,甚至在厘米波段,如果传输的功率不大,对传输损耗要求不高时,
波导就会显得体积大而重,传输横电磁波的传输线则会显得更为有利,因而经常被用作
集成电路的互连单元。随着空间电子技术的发展,军事、科学等各个领域对微波元部件
的小型化、轻量化、便于集成化等提出了更高的要求,现代高速电子信息系统中工作信
号脉冲的上升时间和脉冲宽度己经达到n8量级,相应的频谱则已进入微波、毫米波波
段。当高频谐波的波长与互连线的长度已处于同一量级时,信号脉冲在芯片处的互连线
以及芯片内部各电子器件之间的互连线上会呈现出明显的回波等效应,互连线系统就不
能再简单地被认为是仅起电连通作用的金属导线,而应作为具有分布参数的信号传输线
来处理。总之,芯片中信号连接线上的互连效应己成为集成电路中影响信号完整性和整
个系统性能的重要因素,现代高速大规模集成电路中互连和封装结构的电特性分析已成
为新一代微电子系统设计的关键技术之一。
同时,近年来,各向异性介质因材料方面的特殊性质呈现出独特的电、磁特性,成
为研究的一个热点。如
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