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第十二章 X 射线光电子能谱分析;X射线光谱分析 ? X射线谱仪;用于成分和价键分析的几种特征信号 ;电子能谱学的定义; 电子能谱学的内容非常广泛，凡是涉及到利用电子，离子能量进行分析的技术，均可归属为电子能谱学的范围。 根据激发离子以及出射离子的性质，可以分为以下几种技术。 紫外光电子能谱(Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy，UPS）， X射线光电子能谱（X-ray Photoelectron Spectroscopy，XPS）, 俄歇电子能谱（Auger Electron Spectroscopy, AES）， 离子散射谱（Ion Scattering Spectroscopy，ISS）， 电子能量损失谱（Electron Energy Loss Spectroscopy，EELS）等。; 随着微电子技术的发展，X光电子能谱已发展成为具有表面元素分析、化学态和能带结构分析以及微区化学态成像分析等功能的强大的表面分析仪器。;X射线光电子能谱（XPS ，全称为X-ray Photoelectron Spectroscopy）是一种基于光电效应的电子能谱，它是利用X射线光子激发出物质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行能量分析而获得的一种能谱。;X射线是由德国物理学家伦琴（Wilhelm Conr