单晶硅多晶面表面波波速曲线超声测量方法-机械工程学报.PDFVIP

第 54 卷第 6 期 机 械 工 程 学 报 Vol.54 No.6 2018 年 3 月 JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING Mar. 2018 DOI ：10.3901/JME.2018.06.110 单晶硅多晶面表面波波速曲线超声测量方法* 宋国荣 洪广富 卢 东 吕 炎 何存富 吴 斌 (北京工业大学机械工程与应用电子技术学院 北京 100124) 摘要：随着晶体材料在航空航天、交通、电子电气工程、能源和环保等领域的广泛应用，对材料特殊性能的研究和检测工作 也提出了新的要求。基于声波在材料中传播特性与材料力学性能之间的本构关系，建立单晶硅弹性常数矩阵与表面波波速之 间关系的声弹性理论模型，并利用晶面的转换矩阵得到不同晶面下，表面波波速随角度变化的理论曲线。基于线聚焦超声换 能器、高精度散焦测量系统和 V(f , z)分析法获得单晶硅三个晶面沿不同角度的