等离子体表面改性对牦牛毛表面性能的影响.PDF

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29 1Vol. 29No. 1 2007 01 J.WuhanInst .Tech.Jan.2007 : 1004- 4736( 2007)01- 0052- 03 等离子体表面改性对牦牛毛表面性能的影响 余军杰, 汪建华, 王升高 ( 武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验室, 湖北 武汉430074) : . , ,; . : ;; ; :T S 131. 8: A 0 mm() 200 mm. ( I 1= 3 A ;I 2= 4 A) . , , , , , [ 1] . , . ,, , , . , , . 1 1. 1 1( ) ( ) : ; ( 99. 2% a ECR b ) . : ECR ; ( (0 ) Fig. 1 Experimental arrangement for ECR plasma AMRAYl000B) ; ( etching apparatus and the axial distribution of W W- 90) . central intensity of the magnetic field of the (ECR) coil ( = 0) 1 r 1.2 [2] .2. 45 GHz,0600 () W T E. 10, - 2 ECR ,5. 010 8.0 . 10- 2 Pa , 5 85 mm( ) 300 mm, 5 150 ,, : 2005- 10- 18 : (2002 105 02) ; AA A : ( 1979- ) , , ,. :. 1 : 53 . 2 , . . . 2. 1 , ,, , . . ,

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