工业材料200105p105罗士哲扫描探针显微镜之原理与应用.docVIP

TITLE RationalScanBook【】 from﹕ SUBJECT ITRI-ITIS-MEMS- AUTHOR Rational You: RationalYou@ 【 FILENAME \p D:\★Mems\MagChinese\--★(邀讀).doc】 All﹕ NUMPAGES 8pages（ TIME \@ yyyy/M/d 2001/6/16）【PAGE6】 掃描探針顯微鏡之原理與應用 〈(工研院機械所微機電部 〈(工研院機械所微機電部)羅士哲(研究員)〉《掃描探針顯微鏡之原理與應用》〔工業材料 2001/05﹔p105〕 TOC \o 1-7 \h \z 工業材料200105p105羅士哲★掃描探針顯微鏡之原理與應用 1 (A) 前言 1 ◆表一﹕各種掃描探針顯微術■★ 2 (B) 掃描探針顯微鏡之操作原理 2 ◆圖一﹕掃描探針顯微鏡系統架構 3 (1) 微探針 3 ◆圖二﹕微探針 3 ◆圖三﹕常見的三種SPM微探針 3 (2) 感測器 3 (1)穿隧電流感應機制 4 ◆圖四﹕穿隧車流感測器示意圖 4 (2)作用力感應機制 4 ◆圖五﹕力量感測器示意 4 ◆圖六a﹕音叉式光纖探針感測 5 ◆圖六b﹕音叉式光纖探針感測之鎖相放大器 5 (3) 控制系統與掃描平台 5 ◆圖七﹕掃描探針顯微鏡之控制系統與定位平台 6 (C) 掃描探針顯微鏡之應用 6 ◆圖八﹕掃描探針顯微鏡之應用例 6 (D) 結語 7 ◆圖九﹕工研院機械所開發之掃描探針顯微鏡 7 (E) 參考資料 7 摘要關鍵詞 關鍵詞﹕掃描探針(Scanning Probe)、掃描探針頰微銳(SPM)、顯微術(Microscopy)。 奈米科技走80年代中才開始發展的新興科學與技術﹐它將引發本世紀的材料、生化、光電、能源等技術之革命﹐人類將從而獲得巨大的實際效益﹐也因此奈米等級的測量技術也受到高度的主視。 掃描探針顯微鏡由於其原子級的測量解析度、簡易的操作方法﹐以及低廉的價格等優異特點﹐而被廣泛的應用在半導體、光電、材料與記錄媒體產業。 以下就針對掃描探針顯微鏡之各種檢測原理加以說明﹐其中包含﹕掃描穿隧電流顯微術、原子力顯微術、近場光學顯微術…等。 前言 奈米科技是80年代中才開始發展的新興科學與技術﹐目前已廣泛受到科技界的關注和重視。相信奈米技術也將引發本世紀的技術革命﹐從而獲得巨大的實際效益。 一般而言﹐奈米技術所涉及的尺寸是在100奈米以下直到原子尺度﹐因此對於量測儀器的精度要求也相對地日趨嚴苛。 掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope) (SPM)是在80年代所發展的一種材料表面特性檢測儀器之總稱﹐主要用來觀察材料表面的各種特性。 由於其檢測的解析度可以達到奈米甚或原子級的程度﹐而且還可在大氣環境下就能進行檢測﹐所以其應用領域不斷地擴大。 掃描探針顯微技術最早是在1972年發明尖針式形貌檢測儀(Stylus Profilometer)時所建立● Young, R., Ward, J. and Scire, F., Review of Scientific Instruments, 43, pp. 999-1011, 1972.﹐之後陸續有掃描電子顯微術(Scanning Electron Microscopy)和勞倫茲顯微術 Young, R., Ward, J. and Scire, F., Review of Scientific Instruments, 43, pp. 999-1011, 1972. 但是能夠提供奈米級和原子級解析度(Atomic Resolution)的顯微術則是在 1982年 由瑞士 IBM 蘇黎士(Zurich)研究實驗室的兩名研究員(Gerd Binnig和Heinrich Rohrer)所提出﹐其發明的掃描穿隧電流顯微鏡(Scanning Tunneling Microscope) (STM)可應用於導體材料的表面形貌 (Topography)檢測● D. W. Abraham, H. J. Mamin, E. Ganz, and J. Clarke, IBM J. Res. Dev. 30, pp. 492, 1986.。 D. W. Abraham, H. J. Mamin, E. Ganz, and J. Clarke, IBM J. Res. Dev. 30, pp. 492, 1986. 此後各種掃描探針顯微鏡相繼地出現並應用於各種材料表面特性的檢測﹐例如﹕原子力顯微術(Atomic Force Microscopy)