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半导体界统计和R的应用 中芯国际 －良率管理系统 2008-12-13 Content Integrated Circuit (IC) Manufacturing Semiconductor Data Flow Statisticians at SMIC R Usage at SMIC 1、线性模型/非线性模型/广义线性模型 Linear model for inline monitor Basic mixed effect model applied to semiconductor data Various correlation analyses 2、统计图形：阐述清楚统计原理与图形元素的对应关系 Useful and interesting plots: histogram w/ splits, plot w/ table (Excel like), wafer map (3-D) 3、非参数统计：各种基于秩的检验以及光滑方法 Smooth spline usage, EWMA Control Chart 5、多元统计：一方面展示已有方法的应用，如主成分、聚类等，另一方面体现出R在矩阵运算方面的简便 Wafer pattern classification: clustering analysis 7、数据挖掘和机器学习: Logistic回归、kNN、以及神经网络、SV