声表面波微驱动器及其应用-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

上海交通大学硕士学位论文答辩决议书 姓 名 张冠 JfL·kJtL 1083409022 所?r 微电子 学与罔体电子学 学科 指导教师 李以贵 答辩 201 H)l-14 答辩 比海交通大学微纳科 学技术研究院2-217室 日期 地点 论文题目  声表面波 微驱动器及其应用 投票表决结果: / 当 / 乡 (同忘祟数/立:剑委员数 /J主. 到委员数) 答辩结论:由过 口未酒过 评语和决议: 声表面波微驱动器技术在微流体和固体驱动等领域具有实用价值，是当前国 内外研究的热点。论文的主要工作如下: l.采用了铜作为叉指换能器的材料，对比了干法刻蚀 工艺和 LIF下OFF 工艺 制作声表面波微驱动器的器件效果，优化得到了声表面波微驱动器加 工工 艺参数 。 2. 利用 MATLAB 软件及 ANSYS 软件仿真得出优化的叉指换能器指条对数 范围及压电基片的电势分布云图。 3. 实现了声表面波微驱动器在微流体领域的一种应用，即微流体驱动、混合 和雾化;实现了一种做平台的一维和二维固体驱动。 论文立题目标明确，研 究思路清晰，分析合理，仿真和测试结论头用可信 。 说明该生掌握了该领域的基础知识和专业技能，论文书写规范，达到了硕士 学位 论文水平和要求，答辩中表述清楚，经答辩委员会讨论，无记名投票表决， 一致 同意通过硕士学位论文答辩，建议授予张冠同学 工学硕士学位。 ?