声表面波扭矩传感器结构设计及信号提取方法研究-仪器仪表工程专业论文.docxVIP

上海交通大学硕士学位论文 上海交通大学硕士学位论文 万方数据 万方数据 声表面波扭矩传感器结构设计及信号提取方法研究 摘 要 扭矩是反映回转动力传输系统工作状况的重要参数之一，是实现 各种机械产品开发、质验、工况监测及优化控制等必不可少的参数。 扭矩测试在汽车、船舶、飞机等领域中拥有广泛应用。随着现代科学 技术的不断发展，非接触、无源化、小型化、适应复杂测试环境等已 成为扭矩测量的发展趋势。 本论文提出了一种基于声面波技术的扭矩测试系统，该系统具有 无源、精度高、稳定性好、适用范围广等优点。论文就该系统所涉及 的敏感结构以及无线测量系统信号提取方法进行了讨论分析，测试系 统具有如下特点：在欧拉角为（0°，134°，45°）切型的石英晶体上激 发出高性能的声表面波；采用两个单端口 SAWR 构成差分结构，增加 一个 SAW 温度传感器用来修正温度补偿效果；针对不同量程采用不同 尺寸的弹性体轴，以获得足够的应变灵敏度。 文中利用 ANSYS 有限元分析软件对弹性体轴进行静力分析，并且 着重讨论了多层结构的应力传递效果，这些工作为将来进一步对传感 器整体进行系统分析奠定了重要基础，并服务于传感器的优化设计。 针对声表面波回波信号信噪比低、数据存续时间较短的特性，通 过离线仿真的形式使用 MATLAB 对 FFT、周期图以及插值算法（包括 二次插值和 Rife 算法）进行了对比分析，最终确