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PAGE 淡江大學機械與機電工程學系 專題研究報告 指導教授：楊 龍 杰 博 士 聚對二甲苯與聚二甲基矽氧烷的表面電漿改質 Plasma Surface Modification of Parylene and PDMS 專題生：朱哲謙 撰 中華民國97年9月 第一章 緒論 1-1研究動機 　　高分子材料是指分子間的 \o 結構單位 結構單位或單體經由 \o 共价键 共價鍵連接在一起，具有非常大分子量的化合物，在生活中接觸的很多天然材料通常是高分子材料所組成的，如天然橡膠、棉花、塑料和橡膠等，其中塑料被時代雜誌認為是二十世紀人類最重要的發明。高分子材料對人類的生活方式也產生了很重要的影響，故近年來，各界開始關注「如何整合高分子材料於製程及其相關之應用」。微機電系統（Micro Electro-Mechanical Systems；MEMS）亦不例外，例如於2001年，運用SF6電漿改質棉花表面之對水特性。未改質之棉花表面對水之接觸角為30°；於SF6電漿改質表面後，棉花對水接觸角上升至145° [1]。 在高分子材質中，以聚對二甲苯（parylene）與聚二甲基矽氧烷（polydimethylsiloxane；PDMS）受到最大之關注。聚對二甲苯利用類似化學氣相沉積（chemical vapor desposition；CVD），其沉積之薄膜具有低殘留應力、高平坦度與高